[实用新型]一种便于更换测试角度的探针卡测定装置及关键结构有效
申请号: | 202020769495.5 | 申请日: | 2020-05-12 |
公开(公告)号: | CN212031334U | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
发明(设计)人: | 赵梁玉;王艾琳;周明 | 申请(专利权)人: | 强一半导体(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01N23/00 | 分类号: | G01N23/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 便于 更换 测试 角度 探针 测定 装置 关键 结构 | ||
1.一种便于更换测试角度的探针卡测定装置,其特征在于:包括支撑底脚(1)、固定底板(2)、夹紧固定结构和测定结构;
所述固定底板(2)的下表面固定连接有支撑底脚(1),所述固定底板(2)内部一侧开设有滑槽空腔,所述固定底板(2)的滑槽空腔内部滑动连接有螺杆滑块(4),所述固定底板(2)滑槽空腔的内腔侧壁上转动连接有螺纹杆(3)的一端,所述螺纹杆(3)的另一端贯穿螺杆滑块(4)和固定底板(2)的滑槽空腔侧壁并延伸至壁外,所述螺纹杆(3)延伸至壁外的一端固定连接有旋钮(5),所述螺纹杆(3)和螺杆滑块(4)之间相互螺纹连接,所述螺杆滑块(4)的上表面固定连接有连接柱(6)的一端,所述连接柱(6)的另一端贯穿固定底板(2)的滑槽空腔上壁且延伸至壁外,所述连接柱(6)与固定底板(2)的滑槽空腔上壁之间滑动连接,所述连接柱(6)的上端固定连接有动板(7),所述固定底板(2)的上表面一侧固定连接有定板(8),所述动板(7)和定板(8)上均安装有夹紧固定结构;
所述夹紧固定结构包括:限位圆板(12)、圆板连接杆(13)、圆形转动块(14)、圆形连接杆(15)、固定壳(16)、滑块(17)、夹紧动板(18)、夹紧定板(20)和螺杆旋钮(21),所述动板(7)和定板(8)的上侧内部均开设有转动腔,所述动板(7)和定板(8)的转动腔内均转动连接有圆形转动块(14),所述圆形转动块(14)的一侧固定连接有圆板连接杆(13)的一端,所述圆板连接杆(13)的另一端贯穿转动腔的侧壁且延伸至壁外,所述圆板连接杆(13)的另一端固定连接有限位圆板(12),所述圆形转动块(14)的另一侧固定连接有圆形连接杆(15)的一端,所述圆形连接杆(15)的另一端贯穿转动腔的腔壁且延伸至壁外,所述圆形连接杆(15)的另一端固定连接有固定壳(16),所述固定壳(16)的内腔中滑动连接有滑块(17),所述固定壳(16)的内腔壁上转动连接有螺杆旋钮(21)的一端,所述螺杆旋钮(21)的另一端贯穿滑块(17)和固定壳(16)的内腔上壁且延伸至壁外,所述螺杆旋钮(21)与滑块(17)之间相互螺纹连接,所述滑块(17)的侧壁上固定连接有夹紧动板(18)的一端,所述夹紧动板(18)的另一端贯穿固定壳(16)的内腔侧壁且延伸至壁外,所述夹紧动板(18)与固定壳(16)的内腔壁之间滑动连接,所述固定壳(16)的表面侧壁上固定连接有夹紧定板(20);
所述固定底板(2)的一侧内部开设内腔,该内腔中安装有测定结构,所述测定结构包括:连接滑块(22)、滑动杆(23)、第一滑动套(25)、转动节(26)、电子显微镜(27)、第二滑动套(28)和滑套连接杆(29),所述固定底板(2)的内腔中滑动连接有连接滑块(22),所述连接滑块(22)的上表面固定连接有滑动杆(23)的一端,所述滑动杆(23)的另一端贯穿固定底板(2)的内腔上壁并延伸至壁外,所述滑动杆(23)与固定底板(2)的内腔壁之间滑动连接,所述滑动杆(23)上滑动套接有第一滑动套(25),所述第一滑动套(25)的弧形面上固定连接有转动节(26),所述第一滑动套(25)通过转动节(26)转动连接有滑套连接杆(29)的一端,所述滑套连接杆(29)的另一端固定连接有第二滑动套(28),所述第二滑动套(28)的内侧滑动套接有电子显微镜(27)。
2.根据权利要求1所述的一种便于更换测试角度的探针卡测定装置,其特征在于:所述支撑底脚(1)共有四个,四个所述支撑底脚(1)分别固定在固定底板(2)的下表面四角处。
3.根据权利要求1所述的一种便于更换测试角度的探针卡测定装置,其特征在于:所述动板(7)和定板(8)的侧壁上均固定连接有一个连接杆(9)的一端,两个所述连接杆(9)的另一端均固定连接有连接螺纹套(10),两个所述连接螺纹套(10)内均螺纹连接有第一限位螺杆旋钮(11)。
4.根据权利要求1所述的一种便于更换测试角度的探针卡测定装置,其特征在于:两组所述夹紧固定结构的夹紧动板(18)和夹紧定板(20)的侧壁上均固定连接有橡胶垫片(19)。
5.根据权利要求1所述的一种便于更换测试角度的探针卡测定装置,其特征在于:所述第一滑动套(25)和第二滑动套(28)的弧形表面上均螺纹连接有第二限位螺杆旋钮(24),所述转动节(26)的内部过盈配合。
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