[实用新型]一种便于更换测试角度的探针卡测定装置及关键结构

说明书

本实用新型公开了一种便于更换测试角度的探针卡测定装置及关键结构，所述探针卡测定装置包括支撑底脚、固定底板、夹紧固定结构和测定结构；所述夹紧固定结构包括限位圆板、圆板连接杆、圆形转动块、圆形连接杆、固定壳、滑块、夹紧动板、夹紧定板和螺杆旋钮；所述测定结构包括连接滑块、滑动杆、第一滑动套、转动节、电子显微镜、第二滑动套和滑套连接杆。通过夹紧固定结构和测定结构之间相互配合，不仅可以对探针卡进行检测，而且可以调整探针卡的测定角度，夹紧固定结构可以对不同长度和尺寸的探针卡进行夹紧固定，使用范围更加广泛，本装置的测定结构使用方便，高度和角度调整灵活，同时测定结构中的电子显微镜拆卸简单，适合推广使用。

技术领域

本实用新型涉及一种便于更换测试角度的探针卡测定装置及关键结构，属于探针卡测定应用技术领域。

背景技术

探针卡（Probe Card）是负责测试系统与集成电路芯片之间的电气连接，在对晶圆进行功能测试时，探针卡上的探针与晶圆的焊垫接触，对晶圆输出测试信号或者接收晶圆输出的信号。

探针卡在进行检测时，需要使用到电子显微镜对探针进行观察，是否断脚或是弯折，观察检测时，探针卡的角度调整不方便，对检测产生麻烦。因此，针对上述问题提出一种便于更换测试角度的探针卡测定装置及关键结构。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种便于更换测试角度的探针卡测定装置及关键结构。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种便于更换测试角度的探针卡测定装置，包括支撑底脚、固定底板、夹紧固定结构和测定结构；

所述固定底板的下表面固定连接有支撑底脚，所述固定底板内部一侧开设有滑槽空腔，所述固定底板的滑槽空腔内部滑动连接有螺杆滑块，所述固定底板的滑槽空腔侧壁上转动连接有螺纹杆的一端，所述螺纹杆的另一端贯穿螺杆滑块和固定底板的滑槽空腔侧壁并延伸至壁外，所述螺纹杆延伸至壁外的一端固定连接有旋钮，所述螺纹杆和螺杆滑块之间相互螺纹连接，所述螺杆滑块的上表面固定连接有连接柱的一端，所述连接柱的另一端贯穿固定底板的滑槽空腔上壁且延伸至壁外，所述连接柱与固定底板的滑槽空腔上壁之间滑动连接，所述连接柱的上端固定连接有动板，所述固定底板的上表面一侧固定连接有定板，所述动板和定板上均安装有夹紧固定结构；

所述夹紧固定结构包括限位圆板、圆板连接杆、圆形转动块、圆形连接杆、固定壳、滑块、夹紧动板、夹紧定板和螺杆旋钮，所述动板和定板的上侧内部均开设有转动腔，所述动板和定板的转动腔内均转动连接有圆形转动块，所述圆形转动块的一侧固定连接有圆板连接杆的一端，所述圆板连接杆的另一端贯穿转动腔的侧壁且延伸至壁外，所述圆板连接杆的另一端固定连接有限位圆板，所述圆形转动块的另一侧固定连接有圆形连接杆的一端，所述圆形连接杆的另一端贯穿转动腔的腔壁且延伸至壁外，所述圆形连接杆的另一端固定连接有固定壳，所述固定壳的内腔中滑动连接有滑块，所述固定壳的内腔壁上转动连接有螺杆旋钮的一端，所述螺杆旋钮的另一端贯穿滑块和固定壳的内腔上壁且延伸至壁外，所述螺杆旋钮与滑块之间相互螺纹连接，所述滑块的侧壁上固定连接有夹紧动板的一端，所述夹紧动板的另一端贯穿固定壳的内腔侧壁且延伸至壁外，所述夹紧动板与固定壳的内腔壁之间滑动连接，所述固定壳的表面侧壁上固定连接有夹紧定板；

所述固定底板的另一侧内部开设内腔，所述固定底板的内腔中安装有测定结构，所述测定结构包括连接滑块、滑动杆、第一滑动套、转动节、电子显微镜、第二滑动套和滑套连接杆，所述固定底板的内腔中滑动连接有连接滑块，所述连接滑块的上表面固定连接有滑动杆的一端，所述滑动杆的另一端贯穿固定底板的内腔上壁并延伸至壁外，所述滑动杆与固定底板的内腔壁之间滑动连接，所述滑动杆上滑动套接有第一滑动套，所述第一滑动套的弧形面上固定连接有转动节，所述第一滑动套通过转动节转动连接有滑套连接杆的一端，所述滑套连接杆的另一端固定连接有第二滑动套，所述第二滑动套的内侧滑动套接有电子显微镜。

优选的，所述支撑底脚共有四个，四个所述支撑底脚分别固定在固定底板的下表面四角处。