[实用新型]一种曝光装置

权利要求书

1.一种曝光装置，其包括基座、位于基座上的龙门机构和移动机构、位于所述龙门机构上的曝光机构、位于所述移动机构上的基板台面，基板置于所述基板台面上，其特征在于：所述曝光装置还包括气体保护机构，所述气体保护机构的出气口朝向所述基板设置，所述气体保护机构喷射保护气体覆盖曝光机构的曝光区域。

2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于：所述气体保护机构包括导管，所述导管的出气口为所述气体保护机构的出气口，所述出气口朝向所述曝光机构的投射区域。

3.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于：所述曝光机构包括多个曝光镜头，每个曝光镜头对应设置一个导管，所述导管的出气口位于所述曝光镜头的投射区域外缘，喷射的保护气体覆盖对应曝光镜头的投射区域。

4.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于：所述曝光机构包括多个曝光镜头，至少两个曝光镜头对应设置一个导管，所述导管的出气口位于所述曝光镜头的投射区域外缘，喷射的保护气体覆盖对应曝光镜头的投射区域。

5.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于：所述导管固定于龙门机构。

6.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于：所述导管固定于框架。

7.根据权利要求6所述的曝光装置，其特征在于：所述框架平行于所述龙门机构，置于所述基座。

8.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于：所述气体保护机构固定于所述基板台面的一边。

9.根据权利要求8所述的曝光装置，其特征在于：所述气体保护机构包括多个均匀设置的出气口。

10.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于：所述气体保护机构包括依次连接的节流阀、流量计、电磁阀、歧管块和导管。