[实用新型]一种半导体专用设备轴密封机构

权利要求书

1.一种半导体专用设备轴密封机构，包括安装座(1)，其特征在于，所述安装座(1)滑动连接有保持架(2)，所述保持架(2)可拆卸连接有轴承(3)，所述轴承(3)滑动连接有传动轴(4)，所述安装座(1)靠近轴承(3)的两端均螺纹连接有密封盖(5)，所述密封盖(5)和保持架(2)配合设置。

2.根据权利要求1所述的一种半导体专用设备轴密封机构，其特征在于，所述安装座(1)包括套筒(11)和固定板(12)，所述套筒(11)和保持架(2)滑动连接，所述套筒(11)和密封盖(5)螺纹连接，所述固定板(12)设有安装孔(121)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体专用设备轴密封机构，其特征在于，所述套筒(11)对称设有滑槽(111)，所述保持架(2)设有滑块(21)，所述滑块(21)和滑槽(111)滑动连接。

4.根据权利要求2所述的一种半导体专用设备轴密封机构，其特征在于，所述密封盖(5)包括上盖板(51)和下盖板(52)，所述上盖板(51)的内侧壁和保持架(2)螺纹连接，所述上盖板(51)的外侧壁和套筒(11)螺纹连接，所述下盖板(52)和套筒(11)底部螺纹连接。

5.根据权利要求4所述的一种半导体专用设备轴密封机构，其特征在于，所述套筒(11)设有连接槽(112)，所述上盖板(51)和连接槽(112)螺纹连接，所述连接槽(112)可拆卸连接有密封垫(6)。

6.根据权利要求4所述的一种半导体专用设备轴密封机构，其特征在于，所述保持架(2)设有放置槽(22)，所述轴承(3)和放置槽(22)配合连接，所述保持架(2)靠近下盖板(52)一端的放置槽(22)设有台阶(23)，所述台阶(23)滑动连接有套环(7)。