[实用新型]一种半导体专用设备轴密封机构

说明书

本实用新型公开了一种半导体专用设备轴密封机构，包括安装座，所述安装座滑动连接有保持架，所述保持架可拆卸连接有轴承，所述轴承滑动连接有传动轴，所述安装座靠近轴承的两端均螺纹连接有密封盖，所述密封盖和保持架配合设置。本实用新型结构简单，操作方便，设计科学合理，通过设置一种半导体专用设备轴密封机构，使得传动轴在工作过程中通过隔离密封，避免设备工作时，空气中的酸碱等腐蚀性物质渗入轴系内部对装置造成损坏，有效提高半导体设备传动轴使用中的密封性，降低轴损程度，保证传动轴工作的精准性和可靠性，提高装置的使用寿命，适合范围进行推广。

技术领域

本实用新型属于半导体设备技术领域，尤其涉及一种半导体专用设备轴密封机构。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等领域广泛应用。在半导体设备工作过程中，设备对轴结构的加工要求相对较高，但是在实际使用过程依旧存在一些不足需要去完善。

现有技术中，半导体专用设备在使用过程由于传动轴常处于强酸、强碱的工作环境中，导致传动轴容易受到腐蚀，增加传动轴的损伤，降低装置加工的精准性和可靠性，缩减设备的使用寿命。

为此，我们提出来一种半导体专用设备轴密封机构解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决上述的问题，而提出的一种轴系内部隔离外界环境的高密封性的一种半导体专用设备轴密封机构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种半导体专用设备轴密封机构，包括安装座，所述安装座滑动连接有保持架，所述保持架可拆卸连接有轴承，所述轴承滑动连接有传动轴，所述安装座靠近轴承的两端均螺纹连接有密封盖，所述密封盖和保持架配合设置。

优选地，所述安装座包括套筒和固定板，所述套筒和保持架滑动连接，所述套筒和密封盖螺纹连接，所述固定板设有安装孔。

优选地，所述套筒对称设有滑槽，所述保持架设有滑块，所述滑块和滑槽滑动连接。

优选地，所述密封盖包括上盖板和下盖板，所述上盖板的内侧壁和保持架螺纹连接，所述上盖板的外侧壁和套筒螺纹连接，所述下盖板和套筒底部螺纹连接。

优选地，所述套筒设有连接槽，所述上盖板和连接槽螺纹连接，所述连接槽可拆卸连接有密封垫。

优选地，所述保持架设有放置槽，所述轴承和放置槽配合连接，所述保持架靠近下盖板一端的放置槽设有台阶，所述台阶滑动连接有套环。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

1、通过对传动轴设置密封盖，使得传动轴在工作过程中通过隔离密封，避免设备工作时，空气中的酸碱等腐蚀性物质渗入轴系内部对装置造成损坏，有效提高半导体设备传动轴使用中的密封性，降低轴损程度，保证传动轴工作的精准性和可靠性，提高装置的使用寿命，适合范围进行推广。

2、通过对保持架设置双轴承，有效提高传动轴工作过程中的可靠性，增加传动轴工作的精确性，避免单一轴承损伤直接影响传动轴的加工效果，增加装置的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种半导体专用设备轴密封机构的结构示意图；

图2为图1中A处放大示意图。

图中：1安装座、11套筒、111滑槽、112连接槽、12固定板、121安装孔、2保持架、21滑块、22放置槽、23台阶、3轴承、4传动轴、5密封盖、51上盖板、52下盖板、6密封垫、7套环。

具体实施方式