[实用新型]半导体材料内部缺陷检测装置

权利要求书

1.一种半导体材料内部缺陷检测装置，其特征在于，包括：

红外显微镜本体；

遮光盒，所述遮光盒设置在所述红外显微镜本体外，所述遮光盒的顶部为开口；

滑口，所述滑口开设在所述遮光盒的一侧内壁上；

放置板，所述放置板设置在所述滑口内，所述放置板的一侧延伸至所述遮光盒外，所述放置板的另一端延伸至所述遮光盒内；

透光镜片，所述透光镜片镶嵌在所述放置板上，所述透光镜片的顶部和底部均延伸至所述放置板外，所述透光镜片位于所述遮光盒的一侧；

固定板，所述固定板设置在所述遮光盒的一侧，所述固定板和所述放置板的一侧固定连接，所述固定板和所述滑口相适配；

铰接块，所述铰接块固定安装在所述遮光盒靠近所述固定板的一侧，所述铰接块位于所述透光镜片的下方；

抵触杆，所述抵触杆铰接在所述铰接块上，所述抵触杆远离所述铰接块的一端和所述固定板靠近所述放置板的一侧相接触；

抵触块，所述抵触块固定安装在所述遮光盒靠近所述抵触杆的一侧，所述抵触块位于所述铰接块的下方；

辅助结构，所述辅助结构设置在所述红外显微镜本体上。

2.根据权利要求1所述的半导体材料内部缺陷检测装置，其特征在于，所述辅助结构包括滑孔、滑杆、两个定位槽、两个定位块、固定片和弹簧，所述滑孔开设在所述红外显微镜本体上，所述滑杆滑动安装在所述滑孔内，所述滑杆靠近所述滑口的一端延伸至所述遮光盒内并和所述放置板固定连接，所述滑杆远离所述放置板的一端延伸至所述遮光盒外，所述滑杆和所述遮光盒远离所述滑口的一侧内壁滑动连接，两个所述定位槽分别开设在所述滑杆的顶部和底部，两个所述定位块分别固定安装在所述滑孔的顶部内壁和底部内壁上，两个所述定位块相互靠近的一侧分别延伸至两个所述定位槽内并和所述定位槽的内壁滑动连接，所述固定片固定安装在所述滑杆远离所述放置板的一端，所述弹簧滑动套设在所述滑杆上，所述弹簧的两端分别和所述固定片与所述遮光盒相互靠近的一侧固定连接。

3.根据权利要求2所述的半导体材料内部缺陷检测装置，其特征在于，所述遮光盒远离所述滑口的一侧内壁上开设有通孔，所述滑杆滑动贯穿所述通孔。

4.根据权利要求1所述的半导体材料内部缺陷检测装置，其特征在于，所述固定板远离所述放置板的一侧固定安装有捏片，所述捏片上开设有钩孔。

5.根据权利要求1所述的半导体材料内部缺陷检测装置，其特征在于，所述抵触块远离所述遮光盒的一侧开设有斜面，所述斜面和所述抵触杆相适配。

6.根据权利要求1所述的半导体材料内部缺陷检测装置，其特征在于，所述滑口的内径大于所述透光镜片的大小。