[实用新型]半导体材料内部缺陷检测装置

说明书

本实用新型提供一种半导体材料内部缺陷检测装置。所述半导体材料内部缺陷检测装置包括红外显微镜本体；遮光盒，所述遮光盒设置在所述红外显微镜本体外，所述遮光盒的顶部为开口；滑口，所述滑口开设在所述遮光盒的一侧内壁上；放置板，所述放置板设置在所述滑口内，所述放置板的一侧延伸至所述遮光盒外，所述放置板的另一端延伸至所述遮光盒内；透光镜片，所述透光镜片镶嵌在所述放置板上，所述透光镜片的顶部和底部均延伸至所述放置板外，所述透光镜片位于所述遮光盒的一侧。本实用新型提供的半导体材料内部缺陷检测装置具有使用方便、能够对杂光进行遮挡的优点。

技术领域

本实用新型涉及半导体检测技术领域，尤其涉及一种半导体材料内部缺陷检测装置。

背景技术

对半导体材料内部缺陷的检测，是半导体工艺质量控制的常规手段，也是衡量和评价半导体质量的重要标准之一。目前，对半导体内部缺陷的检测常常使用红外显微镜去检测。红外显微镜主要是使用国外生产的红外显微镜系统，如日本OLYMPUSBX2M-IR系列红外显微镜、美国热电Nicolet公司的Continuμm红外显微镜等。它们大致由专用红外光源及光路、显微镜、复杂的机械和光学扫描装置、碲镉汞或锑化铟等红外传感器、低温系统、信号采集卡、计算机、软件等组成。其工作原理是:红外光源通过专用光路校正后，从底部照射到样品，透过的红外光信号经过显微镜放大或处理后进入红外传感器,转换为电信号，再进入信号采集卡，经过计算机和软件处理，得到红外光谱信息。配合机械和光学装置的扫描，可以得到光谱线或光谱图。从获取的光谱线和光谱图最后来判定样品是否有缺陷、疵病，以及材料质量是否合格。

然而这种红外显微镜在进行检测时，因为每天光线的角度不同，即使在房间内其杂光仍然影响到检测的精确性。

因此，有必要提供一种新的半导体材料内部缺陷检测装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种使用方便、能够对杂光进行遮挡的半导体材料内部缺陷检测装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的半导体材料内部缺陷检测装置包括：红外显微镜本体；遮光盒，所述遮光盒设置在所述红外显微镜本体外，所述遮光盒的顶部为开口；滑口，所述滑口开设在所述遮光盒的一侧内壁上；放置板，所述放置板设置在所述滑口内，所述放置板的一侧延伸至所述遮光盒外，所述放置板的另一端延伸至所述遮光盒内；透光镜片，所述透光镜片镶嵌在所述放置板上，所述透光镜片的顶部和底部均延伸至所述放置板外，所述透光镜片位于所述遮光盒的一侧；固定板，所述固定板设置在所述遮光盒的一侧，所述固定板和所述放置板的一侧固定连接，所述固定板和所述滑口相适配；铰接块，所述铰接块固定安装在所述遮光盒靠近所述固定板的一侧，所述铰接块位于所述透光镜片的下方；抵触杆，所述抵触杆铰接在所述铰接块上，所述抵触杆远离所述铰接块的一端和所述固定板靠近所述放置板的一侧相接触；抵触块，所述抵触块固定安装在所述遮光盒靠近所述抵触杆的一侧，所述抵触块位于所述铰接块的下方；辅助结构，所述辅助结构设置在所述红外显微镜本体上。

优选的，所述辅助结构包括滑孔、滑杆、两个定位槽、两个定位块、固定片和弹簧，所述滑孔开设在所述红外显微镜本体上，所述滑杆滑动安装在所述滑孔内，所述滑杆靠近所述滑口的一端延伸至所述遮光盒内并和所述放置板固定连接，所述滑杆远离所述放置板的一端延伸至所述遮光盒外，所述滑杆和所述遮光盒远离所述滑口的一侧内壁滑动连接，两个所述定位槽分别开设在所述滑杆的顶部和底部，两个所述定位块分别固定安装在所述滑孔的顶部内壁和底部内壁上，两个所述定位块相互靠近的一侧分别延伸至两个所述定位槽内并和所述定位槽的内壁滑动连接，所述固定片固定安装在所述滑杆远离所述放置板的一端，所述弹簧滑动套设在所述滑杆上，所述弹簧的两端分别和所述固定片与所述遮光盒相互靠近的一侧固定连接。

优选的，所述遮光盒远离所述滑口的一侧内壁上开设有通孔，所述滑杆滑动贯穿所述通孔。

优选的，所述固定板远离所述放置板的一侧固定安装有捏片，所述捏片上开设有钩孔。