[实用新型]限位载具有效
| 申请号： | 202020808509.X | 申请日： | 2020-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN212113654U | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 张志逢;陈伟仁;李俊億;林展永 | 申请（专利权）人： | 东捷科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 张燕华 |
| 地址： | 中国台湾台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 限位 | ||
1.一种限位载具，其特征在于，包括：
一底座，包括一安装面，该安装面包括一前侧边、一后侧边、一左侧边及一右侧边；
两支撑装置，连接该底座，且位在该安装面的该前侧边及该后侧边；以及
两枢摆装置，连接该底座，且位在该安装面的该左侧边及该右侧边，每一该枢摆装置包括一枢接座、一摆臂及一推动器，该摆臂枢接该枢接座，且可相对该枢接座转动，该推动器牴触该摆臂，且可推动该摆臂呈一倾斜状态或一直立状态，该倾斜状态是该摆臂相对该安装面是倾斜的，该直立状态是该摆臂相对该安装面是垂直的。
2.如权利要求1所述的限位载具，其特征在于，其中，该推动器包括一支撑腿及一推块，该推块连接该支撑腿，且沿着该支撑腿移动至一第一位置及一第二位置，该推块位在该第一位置时，该摆臂是该倾斜状态，该推块位在该第二位置时，该摆臂是该直立状态。
3.如权利要求2所述的限位载具，其特征在于，其中，该支撑腿包括一弹簧，以使该推块自该第二位置回复至该第一位置。
4.如权利要求2所述的限位载具，其特征在于，其中，该推块包括一轮，该轮的轮面接触该摆臂。
5.如权利要求2所述的限位载具，其特征在于，其中，该推动器包括一支撑座，该支撑座连接该推块，该支撑座的顶部高于该推块及该支撑腿的顶部。
6.如权利要求1所述的限位载具，其特征在于，其中，每一该支撑装置包括一支撑柱，该支撑柱的底部固定在该底座上，该支撑柱的顶部包括一阶梯面。
7.如权利要求6所述的限位载具，其特征在于，其中，每一该支撑装置包括一传感器，连接该支撑柱。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
