[实用新型]限位载具

说明书

本实用新型的限位载具包括底座、两支撑装置及两枢摆装置。底座包括安装面，安装面包括前侧边、后侧边、左侧边及右侧边。两支撑装置连接底座，且位在安装面的前侧边及后侧边。两枢摆装置连接底座，且位在安装面的左侧边及右侧边。每一枢摆装置包括枢接座、摆臂及推动器。摆臂枢接枢接座，且可相对枢接座转动。推动器牴触摆臂，且可推动摆臂呈倾斜状态或直立状态。倾斜状态是摆臂相对安装面是倾斜的。直立状态是摆臂相对安装面是垂直的。

技术领域

本实用新型与载具结构有关，特别是指一种限位载具。

背景技术

半导体制造需要经过多道制程，换言之，半导体材料需经过多次的输送以到达对应制程来进行作业。目前，半导体材料是被装载在半导体传送盒中进行输送，因此，如何在输送过程中，稳定地输送半导体传送盒来避免半导体材料掉落或损坏是重要的问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种限位载具，以提供有效率地装载及卸载半导体传送盒。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种限位载具，包括底座、两支撑装置及两枢摆装置。底座包括安装面，安装面包括前侧边、后侧边、左侧边及右侧边。两支撑装置连接底座，且位在安装面的前侧边及后侧边。两枢摆装置连接底座，且位在安装面的左侧边及右侧边。每一枢摆装置包括枢接座、摆臂及推动器。摆臂枢接枢接座，且可相对枢接座转动。推动器牴触摆臂，且可推动摆臂呈倾斜状态或直立状态。倾斜状态是摆臂相对安装面是倾斜的。直立状态是摆臂相对安装面是垂直的。

上述的限位载具，其中，推动器包括支撑腿及推块，推块连接支撑腿，且沿着支撑腿移动至第一位置及第二位置，推块位在第一位置时，摆臂是倾斜状态，推块位在第二位置时，摆臂是直立状态。

上述的限位载具，其中，其中，该支撑腿包括弹簧，以使推块自第二位置回复至第一位置。

上述的限位载具，其中，推块包括轮，轮的轮面接触摆臂。

上述的限位载具，其中，推动器包括支撑座，支撑座连接推块，支撑座的顶部高于推块及支撑腿的顶部。

上述的限位载具，其中，每一支撑装置包括支撑柱，支撑柱的底部固定在底座上，支撑柱的顶部包括阶梯面。

上述的限位载具，其中，每一支撑装置包括传感器，连接支撑柱。

本实用新型的有益功效在于：限位载具可通过支撑装置支撑半导体传送盒，并可通过支撑装置及摆臂限制半导体传送盒移动。

以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述，但不作为对本实用新型的限定。

附图说明

图1是本实用新型的限位载具的一实施例的立体图。

图2是图1中本实用新型的限位载具装载半导体传送盒的立体图。

图3是图1中限位载具的摆臂是倾斜状态，且省略支撑装置及枢摆装置的枢接座的侧视图。

图4是图3中限位载具的摆臂是直立状态。

图5是本实用新型的限位载具的另一实施例显示限位载具的摆臂是倾斜状态，且省略支撑装置及枢摆装置的枢接座的侧视图。

图6是图5中限位载具的摆臂是直立状态。

附图标记

10:限位载具

11:底座

111:安装面

113:前侧边

115:后侧边

117:左侧边

119:右侧边