[实用新型]一种陶瓷包裹式弧头装置

权利要求书

1.一种陶瓷包裹式弧头装置，其特征在于：包括阴极、屏蔽组件、安装板（15），所述阴极固定在安装板（15）上；

所述阴极一端端面固定有靶材（3）；

所述屏蔽组件包括套设在靶材（3）外且与阴极端面固定连接的连接垫板（4），所述连接垫板（4）内侧与靶材（3）之间设有靶屏蔽环（5），所述连接垫板（4）与阴极的外侧设有阴极屏蔽环（6），所述连接垫板（4）远离阴极组件的一侧端面上固定连接有屏蔽板（7）；所述靶屏蔽环（5）的两端分别抵接阴极端面和屏蔽板（7）；所述阴极屏蔽环（6）的一端端面抵接屏蔽板（7）；

所述屏蔽板（7）远离连接垫板（4）的一侧端面与靶材（3）外端面相平或凸起于靶材（3）外端面；

所述靶屏蔽环（5）、阴极屏蔽环（6）、屏蔽板（7）均为陶瓷绝缘件。

2.根据权利要求1所述的陶瓷包裹式弧头装置，其特征在于：所述连接垫板（4）与阴极采用螺钉连接；所述屏蔽板（7）与连接垫板（4）采用螺钉连接。

3.根据权利要求1所述的陶瓷包裹式弧头装置，其特征在于：所述阴极远离靶材的一侧具有凸起的连接柱（8），连接柱（8）外壁上设有外螺纹（801）；所述安装板（15）上设有连接孔，所述连接柱（8）穿过连接孔并通过螺母（9）固定。

4.根据权利要求3所述的陶瓷包裹式弧头装置，其特征在于：所述阴极与安装板（15）之间设有绝缘板（10），所述阴极屏蔽环（6）的两端端面分别抵接屏蔽板（7）和绝缘板（10）。

5.根据权利要求4所述的陶瓷包裹式弧头装置，其特征在于：所述绝缘板（10）与安装板（15）之间设有密封环（11），所述连接柱（8）与连接孔内壁之间设有密封套（12），所述密封套（12）的截面为L型，通过螺母（9）压紧。

6.根据权利要求5所述的陶瓷包裹式弧头装置，其特征在于：所述安装板（15）上设有与密封环（11）适配的定位凸台（151），所述密封环（11）套设在定位凸台（151）外。

7.根据权利要求4-6任一项所述的陶瓷包裹式弧头装置，其特征在于：所述阴极由阴极座（1）和阴极盖（2）相连接组成，所述阴极座（1）和阴极盖（2）之间具有水冷内腔（14），所述阴极盖（2）上设有两个用于进出液的通液口（201）以及设置在所述阴极盖（2）远离阴极座（1）的背面上的两个通液管（202）。

8.根据权利要求7所述的陶瓷包裹式弧头装置，其特征在于：所述连接柱（8）连接于所述阴极盖（2）远离阴极座（1）的背面，所述连接柱（8）为空心的，两个所述通液管（202）位于阴极的中心处，且两个所述通液管（202）均位于连接柱（8）内。

9.根据权利要求7所述的陶瓷包裹式弧头装置，其特征在于：所述阴极座（1）接近阴极盖（2）一侧的表面上具有凹槽（101），通过凹槽（101）与阴极盖（2）相连接后形成水冷内腔（14），所述阴极座（1）在凹槽（101）设有隔板（102），通过所述隔板（102）使水冷内腔（14）形成螺旋状的水道。

10.根据权利要求1所述的陶瓷包裹式弧头装置，其特征在于：还包括防尘罩（13）。