[实用新型]一种陶瓷包裹式弧头装置

说明书

本实用新型属于电弧离子镀技术领域，具体涉及一种陶瓷包裹式弧头装置，包括阴极、屏蔽组件、安装板，阴极固定在安装板上；阴极远离安装板的一端端面固定有靶材；屏蔽组件包括与阴极端面固定连接的连接垫板，连接垫板内、外侧分别设有靶屏蔽环和阴极屏蔽环，连接垫板远离阴极组件的一侧端面上固定连接有屏蔽板；靶屏蔽环的两端分别抵接阴极端面和屏蔽板；阴极屏蔽环的一端端面抵接屏蔽板；屏蔽板远离连接垫板的一侧端面不低于靶材外端面的高度；靶屏蔽环、阴极屏蔽环、屏蔽板均为陶瓷绝缘件。陶瓷全包覆阴极的弧头装置有效的实现弧光放电中的阴极体全屏蔽，可以减少跑弧现象，特别是对于一些异常放电的材料，极大地提升了放电的稳定性。

技术领域

本实用新型属于电弧离子镀技术领域，具体涉及一种陶瓷包裹式弧头装置。

背景技术

电弧离子镀膜技术是当今一种先进的真空镀膜技术，由于其结构简单，离化率高，入射粒子能量高，绕射性好，可实现低温沉积等一系列优点，使电弧离子镀技术得到快速发展并获得广泛应用，展示出很大的经济效益和工业应用前景。现阶段的常规弧源并不能很好的运用到部分放电异常的材料上，例如：纯金属锆的氮化物及氧化物都具有较为明亮的金属光泽，是一种较为常见的装饰性、功能性（陶瓷基材料）的表面涂层材料，但是锆在弧光放电过程中异于常见靶材（铬、钛），其对放电过程中的电子通道极为敏感，放电过程中弧斑极易发生跑弧现象，造成部分绝缘件损烧。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的缺点和不足，而提供一种陶瓷包裹式弧头装置。

本实用新型所采取的技术方案如下：一种陶瓷包裹式弧头装置，包括阴极、屏蔽组件、安装板，所述阴极固定在安装板上；

所述阴极一端端面固定有靶材；

所述屏蔽组件包括与阴极端面固定连接的连接垫板，所述连接垫板内侧与靶材之间设有靶屏蔽环，所述连接垫板与阴极的外侧设有阴极屏蔽环，所述连接垫板远离阴极组件的一侧端面上固定连接有屏蔽板；所述靶屏蔽环的两端分别抵接阴极端面和屏蔽板；所述阴极屏蔽环的一端端面抵接屏蔽板；

所述屏蔽板远离连接垫板的一侧端面与靶材外端面相平或凸起于靶材外端面

所述靶屏蔽环、阴极屏蔽环、屏蔽板均为陶瓷绝缘件。

所述连接垫板与阴极采用螺钉连接。

所述屏蔽板与连接垫板采用螺钉连接。

所述阴极远离靶材的一侧具有凸起的连接柱，连接柱外壁上设有外螺纹；所述安装板上设有连接孔，所述连接柱穿过连接孔并通过螺母固定。

所述阴极与安装板之间设有绝缘板，所述阴极屏蔽环的两端端面分别抵接屏蔽板和绝缘板。

所述绝缘板与安装板之间设有密封环，所述连接柱与连接孔内壁之间设有密封套，所述密封套的截面为L型，通过螺母压紧。

所述安装板上设有与密封环适配的定位凸台，所述密封环套设在定位凸台外。

所述阴极由阴极座和阴极盖相连接组成，所述阴极座和阴极盖之间具有水冷内腔，所述阴极盖上设有两个用于进出液的通液口以及设置在所述阴极盖远离阴极座的背面上的两个通液管。

所述连接柱连接于所述阴极盖远离阴极座的背面，所述连接柱为空心的，两个所述通液管位于阴极的中心处，且两个所述通液管均位于连接柱内。

所述阴极座接近阴极盖一侧的表面上具有水冷凹槽，通过水冷凹槽与阴极盖相连接后形成水冷内腔，所述阴极座在水冷凹槽设有隔板，通过所述隔板使水冷内腔形成螺旋状的水道。

还包括防尘罩。