[实用新型]除霜装置及测试装置有效
申请号: | 202020821862.1 | 申请日: | 2020-05-15 |
公开(公告)号: | CN212540569U | 公开(公告)日: | 2021-02-12 |
发明(设计)人: | 闵志成;吴奇伟;朱耀平 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;B08B5/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 曹廷廷 |
地址: | 201315*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 除霜 装置 测试 | ||
1.一种除霜装置,其特征在于,所述除霜装置包括:通气管道及连接部件;
所述连接部件包括固定件与转动件,所述固定件用于固定设置在外部的机台上,所述转动件沿轴向可转动地设置于所述固定件上;
所述通气管道的至少一部分沿所述转动件的轴向设置于所述转动件上;所述通气管道包括相对的第一端和第二端,所述通气管道用于供压缩气体自所述第一端流入,并自所述第二端喷出。
2.根据权利要求1所述的除霜装置,其特征在于:所述除霜装置还包括喷嘴;所述喷嘴可拆卸地设置于所述第二端。
3.根据权利要求2所述的除霜装置,其特征在于:所述喷嘴通过螺纹与所述第二端连接。
4.根据权利要求2所述的除霜装置,其特征在于:所述喷嘴沿所述压缩气体的喷出方向逐渐扩张。
5.根据权利要求1所述的除霜装置,其特征在于:所述通气管道包括第一通气段和第二通气段;
所述第一通气段沿所述转动件的轴向延伸并固定设置于所述转动件上,所述第一通气段的一端被配置为所述第一端,所述第一通气段的另一端封闭;
所述第二通气段沿所述第一通气段的径向设置,所述第二通气段的一端与所述第一通气段连通,所述第二通气段的另一端被配置为所述第二端。
6.根据权利要求1所述的除霜装置,其特征在于:所述转动件相对于所述固定件转动的角度范围不超过90°。
7.根据权利要求1所述的除霜装置,其特征在于:所述除霜装置还包括通气阀,所述通气阀设置于所述通气管道上,用于调整所述通气管道中的压缩气体的流量。
8.一种测试装置,其特征在于,包括根据权要求1-7中任一项所述的除霜装置以及机台;
所述机台包括测试位,所述测试位用于容置一测试件;
所述除霜装置的固定件固定设置于所述机台上,所述除霜装置通过所述转动件相对所述固定件转动,而在第一状态和第二状态间转换;
所述第一状态被配置为,所述第二端朝向所述测试位,并用于朝向所述测试位上容置的测试件喷气;
所述第二状态被配置为,所述通气管解除对所述测试位的遮蔽。
9.根据权利要求8所述的测试装置,其特征在于:所述测试装置还包括温度传感器,所述温度传感器设置于所述测试位,用于检测所述测试位上容置的测试件的温度。
10.根据权利要求9所述的测试装置,其特征在于:所述测试装置还包括驱动器,所述除霜装置包括通气阀,所述驱动器与所述温度传感器通信连接,并与所述除霜装置的通气阀通信连接;所述驱动器被配置为,根据所述温度传感器所检测的温度,驱动所述通气阀的开合度。
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