[实用新型]除霜装置及测试装置有效
申请号: | 202020821862.1 | 申请日: | 2020-05-15 |
公开(公告)号: | CN212540569U | 公开(公告)日: | 2021-02-12 |
发明(设计)人: | 闵志成;吴奇伟;朱耀平 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;B08B5/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 曹廷廷 |
地址: | 201315*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 除霜 装置 测试 | ||
本实用新型提供一种除霜装置及测试装置,所述除霜装置包括通气管道及连接部件;所述连接部件包括固定件与转动件,所述固定件用于固定设置在外部的机台上,所述转动件沿轴向可转动地设置于所述固定件上;所述通气管道的至少一部分沿所述转动件的轴向设置于所述转动件上;所述通气管道包括相对的第一端和第二端,所述通气管道用于供压缩气体自所述第一端流入,并自所述第二端喷出。所述除霜装置的结构简单,使用方便,便于在现有的机台上改装增设。
技术领域
本实用新型涉及FT测试设备技术领域,特别涉及一种除霜装置及测试装置。
背景技术
目前,机械手内的样品的测试工作主要由装载在机械手内的FT测试板完成, FT测试板设有底座的一侧位于机械手的内部,并用来接收从机械手传输过来的待测样品,另一侧通过同轴线缆与测试机相连并裸露在外部环境中。
在进行低温测试时(例如在-40℃的环境中),动态机械手内部处于低温状态,位于机械手内部的FT测试板的一侧亦将处于低温环境,裸露在外部环境中的一侧遇冷产生结霜现象,经过一定时间,霜会液化产生水滴从而造成FT测试板线路间出现短路,导致影响样品的测试结果。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种除霜装置及测试装置,以解决机械手在进行低温测试作业时,FT测试板易结霜的问题。
为解决上述技术问题,基于本实用新型的一个方面,本实用新型提供一种除霜装置,所述除霜装置包括:通气管道及连接部件;
所述连接部件包括固定件与转动件,所述固定件用于固定设置在外部的机台上,所述转动件沿轴向可转动地设置于所述固定件上;
所述通气管道的至少一部分沿所述转动件的轴向设置于所述转动件上;所述通气管道包括相对的第一端和第二端,所述通气管道用于供压缩气体自所述第一端流入,并自所述第二端喷出。
可选的,所述除霜装置还包括喷嘴;所述喷嘴可拆卸地设置于所述第二端。
可选的,所述喷嘴通过螺纹与所述第二端连接。
可选的,所述喷嘴沿所述压缩气体的喷出方向逐渐扩张。
可选的,所述通气管道包括第一通气段和第二通气段;
所述第一通气段沿所述转动件的轴向延伸并固定设置于所述转动件上,所述第一通气段的一端被配置为所述第一端,所述第一通气段的另一端封闭;
所述第二通气段沿所述第一通气段的径向设置,所述第二通气段的一端与所述第一通气段连通,所述第二通气段的另一端被配置为所述第二端。
可选的,所述转动件相对于所述固定件转动的角度范围不超过90°。
可选的,所述除霜装置还包括通气阀,所述通气阀设置于所述通气管道上,用于调整所述通气管道中的压缩气体的流量。
基于本实用新型的另一个方面,本实用新型还提供一种测试装置,所述测试装置包括所述的除霜装置以及机台;
所述机台包括测试位,所述测试位用于容置一测试件;
所述除霜装置的固定件固定设置于所述机台上,所述除霜装置通过所述转动件相对所述固定件转动,而在第一状态和第二状态间转换;
所述第一状态被配置为,所述第二端朝向所述测试位,并用于朝向所述测试位上容置的测试件喷气;
所述第二状态被配置为,所述通气管道解除对所述测试位的遮蔽。
可选的,所述测试装置还包括温度传感器,所述温度传感器设置于所述测试位,用于检测所述测试位上容置的测试件的温度。
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