[实用新型]一种半导体制程尾气粉尘清洗设备

权利要求书

1.一种半导体制程尾气粉尘清洗设备，包括有底座(1)和洗涤筒(9)，其特征在于：所述底座(1)的上端固定连接有机电箱(3)，所述机电箱(3)内分别固定安装有水泵(5)和泥泵(16)，所述水泵(5)的抽水口(6)和排水口(7)设于机电箱(3)的外侧，所述排水口(7)的一端接通有输水管(8)，所述洗涤筒(9)的上部接通设有混流喷嘴(11)，所述混流喷嘴(11)进水口与输水管(8)的出水口相接通，所述洗涤筒(9)的内部设有空腔(14)，所述混流喷嘴(11)的出水口设于空腔(14)的中部，所述混流喷嘴(11)的一侧接通有进气管(12)，且所述混流喷嘴(11)在与进气管(12)的接通处套设有护套(10)，所述洗涤筒(9)的上部设有与空腔(14)相连通的出气管(13)，所述洗涤筒(9)的底部设有与空腔(14)相连通的出泥管(15)，所述泥泵(16)的抽泥口(17)和出泥口(18)设于机电箱(3)的外侧，所述出泥管(15)的出口端与抽泥口(17)相接通。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气粉尘清洗设备，其特征在于：所述底座(1)的底面上胶接有防滑橡胶垫(2)，且所述防滑橡胶垫(2)完全铺设于底座(1)的底面。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气粉尘清洗设备，其特征在于：所述机电箱(3)的一侧铰接有箱门(4)，且所述箱门(4)的一侧胶接有密封胶条。

4.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气粉尘清洗设备，其特征在于：所述洗涤筒(9)竖立设置，且所述洗涤筒(9)设置为不锈钢筒。

5.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气粉尘清洗设备，其特征在于：所述混流喷嘴(11)的进水口管口直径小于输水管(8)的出水口管口直径。

6.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气粉尘清洗设备，其特征在于：所述混流喷嘴(11)的一端设有喇叭状的出水口，且所述混流喷嘴(11)的出水口所处高度低于出气管(13)的进气口所处高度。