[实用新型]一种半导体制程尾气粉尘清洗设备

说明书

本实用新型公开了一种半导体制程尾气粉尘清洗设备，包括有底座和洗涤筒，底座上的水泵一端接通有输水管，所述洗涤筒设有混流喷嘴，所述混流喷嘴与输水管接通，所述混流喷嘴的出水口设于空腔的中部，所述混流喷嘴一侧接通有进气管，所述洗涤筒上设有出气管，所述洗涤筒底部设有出泥管，所述出泥管与底座上泥泵相接通。本实用新型使用水泵将水加压送入混流喷嘴内，将尾气吸入混流喷嘴内和水混合，设置混流喷嘴小于输水管的口径，将尾气快速的吸入混流喷嘴内和水混合，水和尾气的混合体在混流喷嘴的喇叭出口处因压力变化形成微气泡，强力射流会将微气泡带入洗涤筒的空腔深处，增加气体溶解及微粒子捕捉的效率，提高处理效果。

技术领域

本实用新型涉及半导体制程尾气处理技术领域，具体为一种半导体制程尾气粉尘清洗设备。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等领域应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。

PM2.5和0.5粉尘微粒是呼吸系统癌症病变的主要原因，粉尘微粒飘散后对环境和作业人员都有不利影响，半导体制程副产物所产生的微粒大部分分布在0.1-1um，传统淋水洗涤塔无法有效拦截，致使粉尘微粒一闪至外界污染环境。因此，我们需要提供一种半导体制程尾气粉尘清洗设备来解决上述的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体制程尾气粉尘清洗设备，使用水泵将水加压送入混流喷嘴内，设置混流喷嘴小于输水管的口径，形成高速水注在混流喷嘴内，在进气管入口处形成真空，将尾气吸入混流喷嘴内和水混合，水和尾气的混合体在混流喷嘴的喇叭出口处因压力变化形成微气泡，强力射流会将微气泡带入洗涤筒的空腔深处，增长了微气泡在空腔深处的停留时间，同时增加气体溶解及微粒子捕捉的效率，提高处理效果，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体制程尾气粉尘清洗设备，包括有底座和洗涤筒，所述底座的上端固定连接有机电箱，所述机电箱内分别固定安装有水泵和泥泵，所述水泵的抽水口和出水口设于机电箱的外侧，所述出水口的一端接通有输水管，所述洗涤筒的上部接通设有混流喷嘴，所述混流喷嘴进水口与输水管的出水口相接通，所述洗涤筒的内部设有空腔，所述混流喷嘴的出水口设于空腔的中部，所述混流喷嘴的一侧接通有进气管，且所述混流喷嘴在与进气管的接通处套设有护套，所述洗涤筒的上部设有与空腔相连通的出气管，所述洗涤筒的底部设有与空腔相连通的出泥管，所述泥泵的抽泥口和出泥口设于机电箱的外侧，所述出泥管的出口端与抽泥口相接通。

优选的，所述底座的底面上胶接有防滑橡胶垫，且所述防滑橡胶垫完全铺设于底座的底面。

优选的，所述机电箱的一侧铰接有箱门，且所述箱门的一侧胶接有密封胶条。

优选的，所述洗涤筒竖立设置，且所述洗涤筒设置为不锈钢筒。

优选的，所述混流喷嘴的进水口管口直径小于输水管的出水口管口直径。

优选的，所述混流喷嘴的一端设有喇叭状的出水口，且所述混流喷嘴的出水口所处高度低于出气管的进气口所处高度。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：使用水泵将水加压送入混流喷嘴内，设置混流喷嘴小于输水管的口径，形成高速水注在混流喷嘴内，在进气管入口处形成真空，将尾气快速的吸入混流喷嘴内和水混合，水和尾气的混合体在混流喷嘴的喇叭出口处因压力变化形成微气泡，强力射流会将微气泡带入洗涤筒的空腔深处，增长了微气泡在空腔深处的停留时间，同时增加气体溶解及微粒子捕捉的效率，提高处理效果。

附图说明

图1为本实用新型的主视结构示意图；

图2为本实用新型的局部剖面结构示意图；

图3为本实用新型进水管、混流喷嘴和进气管连接关系的剖面结构示意图。