[实用新型]测定用探针有效
申请号: | 202020831166.9 | 申请日: | 2020-05-18 |
公开(公告)号: | CN212674984U | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 富桝胜仁;冈本文太 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067;G01R1/073 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 朴云龙 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测定 探针 | ||
1.一种测定用探针,其特征在于,具备:
信号探针,在第1方向上延伸;
接地探针,在所述第1方向上延伸;以及
匹配用导体,
所述匹配用导体在与所述第1方向正交的平面方向上比所述接地探针靠近所述信号探针进行配置,使得由所述信号探针和所述匹配用导体构成的线路的特性阻抗成为给定的值,
所述信号探针的前端部与被检测体的信号电极抵接,所述接地探针的前端部与所述被检测体的接地电极抵接。
2.根据权利要求1所述的测定用探针,其特征在于,
所述接地探针与所述匹配用导体一体化,所述匹配用导体相对于所述接地探针的前端部设置为非对称。
3.根据权利要求1所述的测定用探针,其特征在于,
所述接地探针与所述匹配用导体一体化,从朝向所述接地探针的前端部而在所述第1方向上延伸的部分起,在与所述第1方向正交的平面方向上,与从所述信号探针远离的方向相比,在接近所述信号探针的方向上延伸得长。
4.根据权利要求1所述的测定用探针,其特征在于,
所述匹配用导体为在所述第1方向上延伸并弯曲为靠近所述信号探针的前端部的形状。
5.一种测定用探针,其特征在于,具备:
信号探针,在第1方向上延伸;以及
多个接地探针,在所述第1方向上延伸,并包含匹配用接地探针,
所述匹配用接地探针在与所述第1方向正交的平面方向上比所述多个接地探针中的其它接地探针靠近所述信号探针进行配置,使得由所述信号探针和所述匹配用接地探针构成的线路的特性阻抗成为给定的值,
所述信号探针的前端部与被检测体的信号电极抵接,所述多个接地探针中的任一个的前端部与所述被检测体的接地电极抵接。
6.根据权利要求5所述的测定用探针,其特征在于,
所述多个接地探针通过相互接触而导通。
7.根据权利要求6所述的测定用探针,其特征在于,
所述多个接地探针中的至少一个具有在所述平面方向上延伸的延伸部,
所述多个接地探针中的具有所述延伸部的接地探针和其它接地探针通过所述延伸部与所述其它接地探针接触而导通。
8.根据权利要求5至7中的任一项所述的测定用探针,其特征在于,
具备:位置变化机构,支承所述多个接地探针,使得能够在所述第1方向上移动。
9.根据权利要求8所述的测定用探针,其特征在于,
所述位置变化机构具有:多个弹性构件,具有在所述第1方向上对置的第1端以及第2端,
所述多个弹性构件的所述第1端分别与所述多个接地探针的在所述第1方向上位于与前端部相反侧的多个末端部连接。
10.根据权利要求9所述的测定用探针,其特征在于,
所述位置变化机构具有导电性构件,
所述多个弹性构件的所述第2端分别与所述导电性构件连接,
所述多个接地探针经由所述多个弹性构件以及所述导电性构件导通。
11.根据权利要求5至7中的任一项所述的测定用探针,其特征在于,
具备:导电性可挠构件,配置在所述多个接地探针的所述第1方向侧,并具有可挠性,
从所述第1方向观察,所述导电性可挠构件覆盖所述多个接地探针的前端部。
12.根据权利要求11所述的测定用探针,其特征在于,
所述导电性可挠构件在从所述第1方向观察与所述信号探针的前端部重叠的位置设置有贯通孔。
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