[实用新型]一种半自动晶片粘接机构有效
申请号: | 202020837868.8 | 申请日: | 2020-05-19 |
公开(公告)号: | CN211929446U | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
发明(设计)人: | 洪吉武 | 申请(专利权)人: | 惠州市玛尼微电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙) 44349 | 代理人: | 陈文福 |
地址: | 516000 广东省惠州市博*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半自动 晶片 接机 | ||
本实用新型公开了一种半自动晶片粘接机构,涉及半导体领域,金属放置板上设有具有工件槽的磁吸工件支架,磁吸工件支架下表面嵌设有磁铁框,磁吸工件支架一侧设有物料盘,物料盘上设有胶盘放置区和元件放置区,胶盘放置区设有胶盘,元件放置区上设有晶片承载盘,金属放置板两侧分别设有X轴导轨,X轴导轨通过X轴滑块安装有移动支架,移动支架设有Y轴导轨和托手板,托手板设置于Y轴导轨上方,Y轴导轨通过Y轴滑块连接有连接架,连接架上设有取片机构,连接架上表面设有轨道槽,托手板下表面设有导向轨道,导向轨道与轨道槽滑动配合磁吸工件支架便于更换,通过电子放大镜对工件粘接位置进行观察,取片机构能够取出晶片进行粘接操作。
技术领域
本实用新型涉及半导体领域,特别是涉及一种半自动晶片粘接机构。
背景技术
二极管的封装包括锡膏印刷、固晶、合膜、烧结、清洗、注塑、固化、成型等工序,其中锡膏印刷、固晶是二极管封装的关键工序,现有的二极管封装一般先采用网印方式将锡膏印刷到框架上,然后送入下一道固晶工序。当对不同的工件的进行加工时,需要使用不同的夹具对工件进行夹持固定,夹具通常使用螺钉进行固定,拆卸更换夹具较为麻烦。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半自动晶片粘接机构,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:一种半自动晶片粘接机构,包括金属放置板,所述金属放置板上设有磁吸工件支架,磁吸工件支架为长方形框体结构,磁吸工件支架上表面设有工件槽,磁吸工件支架下表面嵌设有磁铁框,所述磁吸工件支架一侧设有物料盘,所述物料盘上设有胶盘放置区和元件放置区,所述胶盘放置区设有胶盘,所述元件放置区阵列设有若干晶片放置槽,晶片放置槽内设有晶片承载盘,所述金属放置板两侧分别设有X轴导轨,两所述X轴导轨上均滑动设有X轴滑块,两个所述X轴滑块连接有移动支架,所述移动支架设有Y轴导轨和托手板,所述托手板设置于Y轴导轨上方,所述Y轴导轨滑动设有Y轴滑块,所述Y轴滑块连接有连接架,所述连接架远离托手板的一侧设有取片机构,所述连接架上表面设有轨道槽,所述托手板下表面设有导向轨道,所述导向轨道与轨道槽滑动配合。
进一步地,所述垫板侧面嵌设有若干真空吸嘴,所述垫板侧面凹设有若干用于容置真空吸嘴的吸嘴卡槽。操作人员能够根据需要选择真空吸嘴。
进一步地,所述物料盘沿重力方向依次包括承载板和垫板,所述承载板侧面设有若干上容置凹槽,所述垫板侧面对应上容置凹槽位置凹设有下容置凹槽,所述垫板侧面凹设有若干鞍型凹槽,鞍型凹槽与下容置凹槽一一连通,所述上容置凹槽、鞍型凹槽和下容置凹槽构成吸嘴卡槽。在承载板下面安装垫板,使承载板高度高于磁吸工件支架,便于操作人员取晶片。
进一步地,所述垫板包括主板体和嵌设于主板体下表面的永磁铁。垫板通过永磁铁固定在金属放置板上。
进一步地,所述取片机构远离连接架的一侧设有电子放大镜。电子放大镜放大倍数可调,通过电子放大镜将目标位置放大。
进一步地,所述托手板上设有显示器,所述显示器与电子放大镜电性连接。电子放大镜将获取的图像投影在显示器上,工作人员便于粘贴晶片。
进一步地,所述取片机构包括中空盒体、空心轴步进电机、旋转编码器、连接杆、吸嘴夹头和真空泵,所述中空盒体一端设有旋转编码器,所述中空盒体另一端设有空心轴步进电机,所述空心轴步进电机的转轴连接有连接杆,所述连接杆上端连接有真空泵,所述连接杆下端连接有吸嘴夹头。吸嘴夹头用于装夹真空吸嘴,真空吸嘴用于吸附晶片及部分元器件,通过旋转编码器控制空心轴步进电机转动,空心轴步进电机使零件杆转动。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造