[实用新型]一种晶片承载架抓取机构

权利要求书

1.一种晶片承载架抓取机构，其特征在于，包括第一支架（11）以及第二支架（12），所述的第一支架（11）以及第二支架（12）下方均设置有多个支撑脚（13），所述的第一支架（11）与第二支架（12）上分别设置有第一X轴位移组件（2）以及第二X轴位移组件（3），所述的第一X轴位移组件（2）与第二X轴位移组件（3）结构完全相同，所述的第一X轴位移组件（2）与第二X轴位移组件（3）上方设置有Y轴位移组件（4），所述的Y轴位移组件（4）下方设置有Z轴位移组件（5）。

2.根据权利要求1所述的一种晶片承载架抓取机构，其特征在于，所述的第一X轴位移组件（2）与第二X轴位移组件（3）均包括设置在第一支架（11）以及第二支架（12）上的平板（21），所述的平板（21）上均设置有多个X轴导轨（22），所述的X轴导轨（22）上均设置有多个X轴滑块（23），所述的X轴滑块（23）上方连接有X轴支撑板（24），所述的X轴支撑板（24）上方设置有X轴电机（25），所述的X轴电机（25）与X轴支撑板（24）之间设置有X轴联轴器（26），所述的X轴支撑板（24）下方与X轴联轴器（26）位置对应处设置有X轴齿轮（27），所述的平板（21）上设置有与X轴齿轮（27）相匹配的X轴机齿条（28）。

3.根据权利要求2所述的一种晶片承载架抓取机构，其特征在于，所述的Y轴位移组件（4）包括Y轴位移板（41），所述的Y轴位移板（41）两端分别与第一X轴位移组件（2）以及第二X轴位移组件（3）中的X轴支撑板（24）固定连接，所述的Y轴位移板（41）上表面设置有第一Y轴导轨（42），所述的第一Y轴导轨（42）上设置有第一Y轴滑块（43），所述的第一Y轴滑块（43）上设置有第一Y轴连接板（44），所述的第一Y轴连接板（44）上方设置有Y轴电机（45），所述的Y轴电机（45）与第一Y轴连接板（44）之间设置有Y轴联轴器（46），所述的第一Y轴连接板（44）下方与Y轴联轴器（46）位置对应处设置有第一Y轴齿轮（47），所述的Y轴位移板（41）上设置有与第一Y轴齿轮（47）相匹配的第一Y轴机齿条（48）。

4.根据权利要求3所述的一种晶片承载架抓取机构，其特征在于，所述的Z轴位移组件（5）包括设置在Y轴位移板（41）侧面的第二Y轴导轨（51），所述的第二Y轴导轨（51）上设置有第二Y轴滑块（52），所述的第二Y轴滑块（52）上连接有第二Y轴连接板（53），所述的第二Y轴连接板（53）与第一Y轴连接板（44）垂直连接，所述第二Y轴连接板（53）的侧面设置有Z轴气缸（54），所述Z轴气缸（54）的活塞杆连接有双头气缸（55），所述双头气缸（55）的左右活塞杆均连接有用于夹紧物体的夹板（56），所述夹板（56）面对双头气缸（55）的一面均设置有用于增加摩擦力的磨砂部（57）。

5.根据权利要求4所述的一种晶片承载架抓取机构，其特征在于，所述X轴电机（25）与Y轴电机（45）的侧面均设置有用于连接电源的电源插口（61）以及用于连接数控模块的数字接口（62）。