[实用新型]一种晶片承载架抓取机构

说明书

本实用新型涉及晶片生产领域，具体涉及一种晶片承载架抓取机构，包括第一支架以及第二支架，所述的第一支架以及第二支架下方均设置有多个支撑脚，所述的第一支架与第二支架上分别设置有第一X轴位移组件以及第二X轴位移组件，所述的第一X轴位移组件与第二X轴位移组件上方设置有Y轴位移组件，所述的Y轴位移组件下方设置有Z轴位移组件。本实用新型设置了X轴位移组件、Y轴位移组件以及Z轴位移组件，实现了多方位的位移，保证装置能够抓取任意位置的承载架，降低了工人的工作量；同时在Z轴位移组件生设置的双头气缸配合夹板，能有效的夹紧承载板，并将其运送到指定的位置处，进一步提高了工作效率。

技术领域

本实用新型涉及晶片生产领域，具体涉及一种晶片承载架抓取机构。

背景技术

微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System)的制造工艺中，晶片是必不可少的器件之一，晶片从进料到出货通常需要经历切片、晶片加工、质检、中转存放、分拣和包装等工艺，为了在生产的过程中保护晶片不受损坏，通常将多个晶片安置在一片晶片承载架上，再通过各道工序进行加工生产。在现有的技术中，通常是通过人工将晶片承载架放入对应的加工装置中，待加工完成后，再取出送往下一工位进行加工，这样不但加大了工人的劳动强度，同时也大大的降低了生产的效率。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种晶片承载架抓取机构。

本实用新型采用如下方案实现：

一种晶片承载架抓取机构，包括第一支架以及第二支架，所述的第一支架以及第二支架下方均设置有多个支撑脚，所述的第一支架与第二支架上分别设置有第一X轴位移组件以及第二X轴位移组件，所述的第一X轴位移组件与第二X轴位移组件结构完全相同，所述的第一X轴位移组件与第二X轴位移组件上方设置有Y轴位移组件，所述的Y轴位移组件下方设置有Z轴位移组件。

进一步的，所述的第一X轴位移组件与第二X轴位移组件均包括设置在第一支架以及第二支架上的平板，所述的平板上均设置有多个X轴导轨，所述的X轴导轨上均设置有多个X轴滑块，所述的X轴滑块上方连接有X轴支撑板，所述的X轴支撑板上方设置有X轴电机，所述的X轴电机与X轴支撑板之间设置有X轴联轴器，所述的X轴支撑板下方与X轴联轴器位置对应处设置有X轴齿轮，所述的平板上设置有与X轴齿轮相匹配的X轴机齿条。

进一步的，所述的Y轴位移组件包括Y轴位移板，所述的Y轴位移板两端分别与第一X轴位移组件以及第二X轴位移组件中的X轴支撑板固定连接，所述的Y轴位移板上表面设置有第一Y轴导轨，所述的第一Y轴导轨上设置有第一Y轴滑块，所述的第一Y轴滑块上设置有第一Y轴连接板，所述的第一Y轴连接板上方设置有Y轴电机，所述的Y轴电机与第一Y轴连接板之间设置有Y轴联轴器，所述的第一Y轴连接板下方与Y轴联轴器位置对应处设置有第一Y轴齿轮，所述的Y轴位移板上设置有与第一Y轴齿轮相匹配的第一Y轴机齿条。

进一步的，所述的Z轴位移组件包括设置在Y轴位移板侧面的第二Y轴导轨，所述的第二Y轴导轨上设置有第二Y轴滑块，所述的第二Y轴滑块上连接有第二Y轴连接板，所述的第二Y轴连接板与第一Y轴连接板垂直连接，所述第二Y轴连接板的侧面设置有Z轴气缸，所述Z轴气缸的活塞杆连接有双头气缸，所述双头气缸的左右活塞杆均连接有用于夹紧物体的夹板，所述夹板面对双头气缸的一面均设置有用于增加摩擦力的磨砂部。

进一步的，所述X轴电机与Y轴电机的侧面均设置有用于连接电源的电源插口以及用于连接数控模块的数字接口。

对比现有技术，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型设置了X轴位移组件、Y轴位移组件以及Z轴位移组件，实现了多方位的位移，保证装置能够抓取任意位置的承载架，降低了工人的工作量；同时在Z轴位移组件生设置的双头气缸配合夹板，能有效的夹紧承载板，并将其运送到指定的位置处，进一步提高了工作效率。

附图说明