[实用新型]一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备

权利要求书

1.一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备，其特征在于，包括：柜体(16)，设置在柜体(16)中的缓冲罐(14)、源液罐(15)、蒸发器(9)、真空发生器(6)、若干输出管阀(24)和扫吹管阀(27)，以及设置在柜体(16)外壳体上的微控制器(22)；

所述柜体(16)的顶端开设有若干输出口(25)、氩气进气孔(26)和扫吹出气孔(28)，所述输出管阀(24)固定在柜体(16)内壁，并与输出口(25)配合安装，所述氩气进气孔(26)用于连接外部氩气管路和手动隔膜阀(3)，外部氩气由手动隔膜阀(3)进入柜体(16)内部管路；所述手动隔膜阀(3)的后段设置有第一过滤器(5)和调压阀(4)；

所述蒸发器(9)与缓冲罐(14)、源液罐(15)、手动隔膜阀(3)，以及输出管阀(24)连接；所述蒸发器(9)的进液管路上设置有液体流量计(8)，进气管路上设置有气体流量计(7)；

所述真空发生器(6)连接外部尾排处理装置与柜体(16)的内部管路，所述扫吹管阀(27)一端连接内部管路，另一端连接扫吹出气孔(28)；所述扫吹管阀(27)的前段管路还设置有第二过滤器(10)和气动微漏阀(13)；所述真空发生器(6)为吸吹一体式发生器；

所述蒸发器(9)、液体流量计(8)、气体流量计(7)、真空发生器(6)均与微控制器(22)信号连接。

2.根据权利要求1所述的一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备，其特征在于，所述手动隔膜阀(3)的后段管路还设置有气动隔膜阀(1)和压力表(2)。

3.根据权利要求2所述的一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备，其特征在于，所述缓冲罐(14)和源液罐(15)通向蒸发器(9)的进液管路上设置有单向阀(11)和压力传感器(12)。

4.根据权利要求1所述的一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备，其特征在于，所述柜体(16)的外壁顶部还设置有警示灯(19)，所述警示灯(19)与微控制器(22)信号连接。

5.根据权利要求1所述的一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备，其特征在于，所述柜体(16)的顶部还开设有消防接口(18)。

6.根据权利要求1所述的一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备，其特征在于，所述柜体(16)还设置有内压表(17)。

7.根据权利要求1所述的一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备，其特征在于，所述柜体(16)的内分为管路区和罐体放置区，所述罐体放置区内设置有用于安装缓冲罐(14)的第一固定装置(20)，和用于固定源液罐(15)的第二固定装置(21)。

8.根据权利要求7所述的一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备，其特征在于，所述柜体(16)内部的罐体放置区的内壁中，设置有防火夹层，放置区下底面设置有罐体固定架，罐体固定架下设置有蛭石。

9.根据权利要求7所述的一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备，其特征在于，所述柜体(16)内部缓冲罐(14)和源液罐(15)的放置区，均设置有烟雾报警器(23)。

10.根据权利要求1所述的一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备，其特征在于，所述微控制器(22)为带显示屏的PLC控制器。