[实用新型]一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备

说明书

本实用新型源液蒸发柜领域，尤其涉及一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备，一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备，包括：柜体，设置在柜体中的缓冲罐、源液罐、蒸发器、真空发生器，若干输出管阀和扫吹管阀，以及设置在柜体外壳体上的微控制器；采用本实用新型，源液罐配合缓冲罐实现了带源蒸发柜的应用，并且通过缓冲罐实现了源液罐的在线更换；源液罐与缓冲罐出液端设有液体流量计，手动隔膜阀后段设置有气体流量计，配合微控制器，实现信息的数据化采集，并信号控制真空发生器与蒸发器，显示操作的信息化与自动化。

技术领域

本实用新型源液蒸发柜领域，尤其涉及一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备。

背景技术

近年，一些大的太阳能电池制造公司研究在硅基太阳能电池表面增加氧化铝的薄膜，来增加太阳能电池的转化效率。三甲基铝正是制造氧化铝薄膜的核心原料之一，所需要的设备就是能够将三甲基铝原液和氩气进行一定比例的混合气化处理的装置。

目前市场上，很多中小型厂房没有配置三甲基铝的外围管道的条件，无法使用以前旧款的蒸发柜，需要一种带源蒸发柜，且一般带源蒸发柜的更换原液瓶存在一定的泄露隐患。

实用新型内容

本实用新型目的是在于提供可直接供应源液，更换源瓶更加安全，吹扫自动化的蒸发输送设备。

一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备，包括：柜体，设置在柜体中的缓冲罐、源液罐、蒸发器、真空发生器，若干输出管阀和扫吹管阀，以及设置在柜体外壳体上的微控制器；

所述柜体的顶端设置有若干输出口、氩气进气孔和扫吹出气孔，所述输出管阀固定在柜体内壁，并与输出口配合安装，所述氩气进气孔用于连接外部氩气管路和手动隔膜阀，外部氩气由手动隔膜阀进入柜体内部管路；所述手动隔膜阀的后段设置有第一过滤器和调压阀；

所述蒸发器与缓冲罐、源液罐、手动隔膜阀，以及输出管阀连接；所述蒸发器的进液管路上设置有液体流量计，进气管路上设置有气体流量计；

所述真空发生器连接外部尾排处理装置与柜体的内部管路，所述扫吹管阀一端连接内部管路，另一端连接扫吹出气孔；所述扫吹管阀的前段管路还设置有第二过滤器和气动微漏阀；所述真空发生器为吸吹一体式发生器；

所述蒸发器、液体流量计、气体流量计、真空发生器均与微控制器信号连接。

进一步的，所述手动隔膜阀的后段管路还设置有气动隔膜阀和压力表。

进一步的，所述缓冲罐和源液罐通向蒸发器的进液管路上设置有单向阀和压力传感器。

进一步的，所述柜体的外壁顶部还设置有警示灯，所述警示灯与微控制器信号连接。

进一步的，所述柜体的顶部还开设有消防接口。

进一步的，所述柜体还设置有内压表。

进一步的，所述柜体的内分为管路区和罐体放置区，所述罐体放置区内设置有用于安装缓冲罐的第一固定装置，和用于固定源液罐的第二固定装置。

进一步的，所述柜体内部的罐体放置区的内壁中，设置有防火棉夹层，放置区下底面设置有罐体固定架，罐体固定架下设置有蛭石。

进一步的，所述柜体内部缓冲罐和源液罐的放置区，均设置有烟雾报警器。

进一步的，所述微控制器为带显示屏的PLC控制器

本实用新型的有益效果是：