[实用新型]一种OLED显示器件蒸镀工艺制程用分开式真空炉有效
| 申请号： | 202020844308.5 | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN211719623U | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 朱龙海 | 申请（专利权）人： | 昆山格德洛克智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;C23C14/24 |
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| 地址： | 215311 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 oled 显示 器件 工艺 制程用 分开 真空炉 | ||
1.一种OLED显示器件蒸镀工艺制程用分开式真空炉，其特征在于：包括主体(1)、底座(4)、水冷组件(5)、结晶组件(8)以及调整组件(10)；所述主体(1)内设置有左腔(2)和右腔(3)，所述水冷组件(5)通过底座(4)与主体(1)连接，所述主体(1)外侧设置有冷水管(51)，所述冷水管(51)与水冷组件(5)连通，所述主体(1)上设置有冷却组件(6)、抽气组件(7)以及门组件(9)，所述左腔(2)和右腔(3)分别与主体(1)左右两侧的冷却组件(6)连通，所述结晶组件(8)通过调整组件(10)与左腔(2)的底部活动连接，所述结晶组件(8)上设置有点加热件(82)，所述右腔(3)内设置有线加热件(31)。
2.根据权利要求1所述的一种OLED显示器件蒸镀工艺制程用分开式真空炉，其特征在于：所述冷却组件(6)包括低温泵(61)和冷阱(62)，所述左腔(2)和右腔(3)之间隔绝，所述抽气组件(7)上设置有抽气件(71)，所述门组件(9)包括大门(96)和小门(97)，所述结晶组件(8)位于左腔(2)内。
3.根据权利要求2所述的一种OLED显示器件蒸镀工艺制程用分开式真空炉，其特征在于：所述结晶组件(8)还包括外壳(81)和放置处(83)，所述大门(96)和小门(97)均包括门板(91)和锁扣(93)。
4.根据权利要求3所述的一种OLED显示器件蒸镀工艺制程用分开式真空炉，其特征在于：所述放置处(83)位于外壳(81)上，所述放置处(83)位于点加热件(82)上方，所述门板(91)上设置有安装孔(92)，所述锁扣(93)上设置有旋转板(94)。
5.根据权利要求4所述的一种OLED显示器件蒸镀工艺制程用分开式真空炉，其特征在于：所述放置处(83)和点加热件(82)均有多个，所述旋转板(94)通过锁紧螺钉(95)与安装孔(92)连接。
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