[实用新型]一种OLED显示器件蒸镀工艺制程用分开式真空炉

说明书

本实用新型涉及一种OLED显示器件蒸镀工艺制程用分开式真空炉，包括主体、底座、水冷组件、结晶组件以及调整组件；所述主体内设置有左腔和右腔，所述主体外侧设置有冷水管，所述冷水管与水冷组件连通，所述主体上设置有冷却组件、抽气组件以及门组件，所述左腔和右腔分别与主体左右两侧的冷却组件连通，所述结晶组件上设置有点加热件，所述右腔内设置有线加热件。本实用新型提供一种OLED显示器件蒸镀工艺制程用分开式真空炉，提高了生产的OLED显示器件的品质，减少了蒸镀机停线和保养的次数，提高了生产效率，降低了生产成本，且加工件和粉末状原材料在不同的腔加热避免了加工件析出的有害气体对结晶的原材料产生影响。

技术领域

本实用新型涉及真空炉领域，具体涉及一种OLED显示器件蒸镀工艺制程用分开式真空炉。

背景技术

OLED属于一种电流型的有机发光器件，是通过载流子的注入和复合而致发光的现象，发光强度与注入的电流成正比；在电场的作用下，阳极产生的空穴和阴极产生的电子就会发生移动，分别向空穴传输层和电子传输层注入，迁移到发光层；当二者在发光层相遇时，产生能量激子，从而激发发光分子最终产生可见光。

OLED显示器件由呈粉末状的原材料和加工件组成而成，在加工和制造过程中加工件吸收少量的水、其他杂质以及有害气体，在加工件放入蒸镀机时加工件内部的水、其他杂质以及有害气体会析出并污染蒸镀机，影响了生产的OLED显示器件的品质；粉末状的原材料占用空间较大，通常盛放于坩埚内；当将粉末状原材料放入蒸镀机内后占用空间大，在粉末状原材料用完后需要将蒸镀机停止并对蒸镀机进行保养，然后才能向蒸镀机内添加原材料；蒸镀机停线次数多，降低了生产效率，增加了生产成本。

实用新型内容

本实用新型的目的是：提供一种OLED显示器件蒸镀工艺制程用分开式真空炉，解决以上问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下的技术方案：

一种OLED显示器件蒸镀工艺制程用分开式真空炉，包括主体、底座、水冷组件、结晶组件以及调整组件；所述主体内设置有左腔和右腔，所述水冷组件通过底座与主体连接，所述主体外侧设置有冷水管，所述冷水管与水冷组件连通，所述主体上设置有冷却组件、抽气组件以及门组件，所述左腔和右腔分别与主体左右两侧的冷却组件连通，所述结晶组件通过调整组件与左腔的底部活动连接，所述结晶组件上设置有点加热件，所述右腔内设置有线加热件。

进一步的，所述冷却组件包括低温泵和冷阱，所述左腔和右腔之间隔绝，所述抽气组件上设置有抽气件，所述门组件包括大门和小门，所述结晶组件位于左腔内。

进一步的，所述结晶组件还包括外壳和放置处，所述大门和小门均包括门板和锁扣。

进一步的，所述放置处位于外壳上，所述放置处位于点加热件上方，所述门板上设置有安装孔，所述锁扣上设置有旋转板。

进一步的，所述放置处和点加热件均有多个，所述旋转板通过锁紧螺钉与安装孔连接。

本实用新型的有益效果为：提供一种OLED显示器件蒸镀工艺制程用分开式真空炉，通过主体、底座、水冷组件、结晶组件以及调整组件相互配合使用，实现将OLED显示器件的加工件中的水、其他杂质以及有害气体加热析出，与将粉末状的原材料预熔融后熔化为晶体状节约占用空间的效果，提高了生产的OLED显示器件的品质，减少了蒸镀机停线和保养的次数，提高了生产效率，降低了生产成本，且加工件和粉末状原材料在不同的腔加热避免了加工件析出的有害气体对结晶的原材料产生影响。

附图说明

图1为本实用新型一种OLED显示器件蒸镀工艺制程用分开式真空炉的整体结构轴测图。

图2为本实用新型一种OLED显示器件蒸镀工艺制程用分开式真空炉的部分结构轴测图。

图3为本实用新型一种OLED显示器件蒸镀工艺制程用分开式真空炉的另一部分结构轴测图。