[实用新型]一种激光曝光的制程装置

权利要求书

1.一种激光曝光的制程装置，其特征在于：包括检测传感器、放板机、移栽机、LDI曝光主机、清洁机、翻板机和收板机；

所述放板机依次连接清洁机、LDI曝光主机、移栽机、翻板机、清洁机、LDI曝光主机、移栽机和收板机；

所述每个设备之间均设有检测传感器。

2.根据权利要求1所述的一种激光曝光的制程装置，其特征在于：所述放板机和收板机内所设移动机械手为真空机械手，还设有操作面板和传送带，且设有急停按钮，所述真空机械手跨设在操作面板和传送带之间；其中放板机的操作面板设置于传送带左侧，收板机的操作面板设置于传送带右侧，所述真空机械手上设有无刷电机。

3.根据权利要求1所述的一种激光曝光的制程装置，其特征在于：所述翻板机翻板机包括翻转机械手且设有急停按钮，其中所述的翻转机械手为真空吸取翻转机械手。

4.根据权利要求1所述的一种激光曝光的制程装置，其特征在于：所述清洁机由传送带、气喷嘴和高压风机组成，传送带上设置有气喷嘴，气喷嘴与高压风机相接。

5.根据权利要求1所述的一种激光曝光的制程装置，其特征在于：所述LDI曝光机由操作面板和曝光室组成，所述的操作面板设置于曝光室内，曝光室设有6组激光头呈一字排列，每组激光头成像区域宽度为8cm。

6.根据权利要求5所述的一种激光曝光的制程装置，其特征在于：所述激光头由半导体激光器和DMD镜片组成。

7.根据权利要求1所述的一种激光曝光的制程装置，其特征在于：所述移栽机包括三轴机械手、所述三轴机械手为真空三轴机械手，所述真空吸取装置与所述真空三轴机械手的手部固定连接；所真空述三轴机械手的下方与水平导轨滑动连接，所述真空吸取装置包括电机和抓取检测传感器。