[实用新型]一种激光曝光的制程装置

说明书

本实用新型公开了一种激光曝光的制程装置，其特征在于：包括检测传感器、放板机、移栽机、LDI曝光主机、清洁机、翻板机和收板机；所述放板机依次连接清洁机、LDI曝光主机、移栽机、翻板机、清洁机、LDI曝光主机、移栽机和收板机；利用高性能的半导体激光器和DMD镜片，搭配出色的光学系统，用图像电子资料文件代替实物菲林工具，将文件中的图形线路通过镭射激光直接成像技术对干膜进行感光聚合，形成不溶于稀碱溶液的体型大分子结构，且采用LDI光源的解像度能力以及使用寿命高于LED灯源，LDI曝光机比传统曝光机生产效率提高25.3％，整体报废率下降0.4％，一次合格率提高4％，三项主要因曝光导致的报废明显降低，得到有效控制。

【技术领域】

本实用新型涉及激光曝光领域，具体涉及一种激光曝光的制程装置。

【背景技术】

传统的图形转移利用平行光源照射菲林底片成像，最小解像度线宽/线间3/3mil，但无法量产。现有技术的制程能力已不能完全满足产品日益增长的精度要求，而且在制造过程中会产生一系列品质问题；如：板上携带的垃圾、铜屑、铜渣、菲林碎等粘于菲林有效图形单元内，造成定位短路不良；菲林涨缩导致图形偏位；菲林擦花导致线路缺口或开/短路不良等。

【实用新型内容】

为解决上述问题，提出了一种激光曝光的制程装置；

一种激光曝光的制程装置，其特征在于：包括检测传感器、放板机、移栽机、LDI曝光主机、清洁机、翻板机和收板机；

所述放板机依次连接清洁机、LDI曝光主机、移栽机、翻板机、清洁机、LDI曝光主机、移栽机和收板机；

所述每个设备之间均设有检测传感器。

进一步地、所述放板机和收板机内所设移动机械手为真空机械手，还设有操作面板(202)和传送带，且设有急停按钮，所述真空机械手跨设在操作面板和传送带之间；其中放板机的操作面板设置于传送带左侧，收板机的操作面板设置于传送带右侧，所述真空机械手上设有无刷电机。

进一步地、翻板机翻板机包括翻转机械手且设有急停按钮，其中所述的翻转机械手为真空吸取翻转机械手。

进一步地、所述清洁机由传送带、气喷嘴和高压风机组成，传送带上设置有气喷嘴，气喷嘴与高压风机相接。

进一步地、所述LDI曝光机由操作面板和曝光室组成，所述的操作面板设置于曝光室内，曝光室设有6组激光头呈一字排列，每组激光头成像区域宽度为8cm。

进一步地、所述激光头由半导体激光器和DMD镜片组成。

进一步地、所述移栽机包括三轴机械手、所述三轴机械手为真空三轴机械手，所述真空吸取装置与所述真空三轴机械手的手部固定连接；所真空述三轴机械手的下方与水平导轨滑动连接，所述真空吸取装置包括电机和抓取检测传感器。

本实用新型利用高性能的半导体激光器和DMD镜片，搭配出色的光学系统，用图像电子资料文件代替实物菲林工具，将文件中的图形线路通过镭射激光直接成像技术对干膜进行感光聚合，形成不溶于稀碱溶液的体型大分子结构，且采用LDI光源的解像度能力以及使用寿命高于LED灯源，LDI曝光机比传统曝光机生产效率提高25.3％，整体报废率下降0.4％，一次合格率提高4％，三项主要因曝光导致的报废明显降低，得到有效控制；

【附图说明】

图1为本实用新型整体结构图；

图2为本实用新型的激光头结构图；

图3为本实用新型的曝光机结构图；

图4本实用新型的流程示意图。

【具体实施方式】