[实用新型]邦头机构以及固晶设备有效

专利信息
申请号: 202020869336.2 申请日: 2020-05-21
公开(公告)号: CN211828723U 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 胡新荣 申请(专利权)人: 中山市新益昌自动化设备有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/67;H01L33/48
代理公司: 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 代理人: 陈延侨
地址: 528400 广东省中山*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 机构 以及 设备
【权利要求书】:

1.一种邦头机构,其特征在于,包括邦头安装板(100)以及至少两个均安装于所述邦头安装板(100)的固晶邦头(200),其中,所述固晶邦头(200)包括固晶吸嘴(210)、联动块(220)、固晶驱动器(230)以及电机安装座(240),所述电机安装座(240)连接于邦头安装板(100),所述固晶吸嘴(210)用于接收负压气体连接并利用负压气体吸持晶片,所述联动块(220)与所述固晶吸嘴(210)连接,所述固晶驱动器(230)连接于所述电机安装座(240),并用于驱动所述联动块(220)上下运动,且在驱动所述联动块(220)向下运动过程中将所述固晶吸嘴(210)上吸持的晶片固定到基板上。

2.如权利要求1所述的邦头机构,其特征在于,所述联动块(220)开设有左右方向延伸设置的活动槽(2201);所述固晶驱动器(230)包括沿前后方向延伸设置的活动筒(231)、与所述活动筒(231)连接的转接件(232)以及连接于所述邦头安装邦并用于驱动所述转接件(232)绕一转动轴线转动的驱动电机(233),所述活动筒(231)至少部分置于所述活动槽(2201)内,所述活动筒(231)的中心轴线与所述转接件(232)的转动轴线错位设置,所述活动槽(2201)的槽宽等于所述活动筒(231)的外筒径。

3.如权利要求2所述的邦头机构,其特征在于,所述活动槽(2201)贯通设置。

4.如权利要求2所述的邦头机构,其特征在于,所述活动筒(231)为轴承。

5.如权利要求2所述的邦头机构,其特征在于,所述活动筒(231)与所述转接件(232)转动连接。

6.如权利要求1所述的邦头机构,其特征在于,所述电机安装座(240)开设有引导滑槽,各所述引导滑槽分别与一所述固晶邦头(200)对应设置,其中,所述引导滑槽的布置路径为上下方向,所述联动块(220)与所述固晶吸嘴(210)连接,并与一个所述引导滑槽滑接配合。

7.如权利要求6所述的邦头机构,其特征在于,所述引导滑槽贯通设置。

8.如权利要求2所述的邦头机构,其特征在于,所述电机安装座(240)包括第一安装部(241)、连接于所述第一安装部(241)边缘并向下延伸形成的第二安装部(242)以及连接于所述第二安装部(242)下侧边缘并朝背离所述第一安装部(241)方向延伸形成的第三安装部(243),所述固晶驱动器(230)位于所述第一安装部(241)下侧,所述转接件(232)和所述固晶驱动器(230)位于所述第二安装部(242)两侧。

9.一种固晶设备,其特征在于,包括如权利要求1至8中任一项所述的邦头机构。

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