[实用新型]一种化学气相沉积设备的精准安装结构

权利要求书

1.一种化学气相沉积设备的精准安装结构，包括机壳(1)和气体分配盒(3)，其特征在于，所述机壳(1)上开设有安装孔(2)，机壳(1)的顶部依次固定设置有呈环形分布的定位锥块(8)和定位销(10)，所述气体分配盒(3)的底部固定设置有与所述安装孔(2)相匹配的安装部(7)，所述安装部(7)的外部包裹有密封垫(6)，气体分配盒(3)的外侧开设有呈环形分布且与所述定位锥块(8)相匹配的定位锥槽(9)，且气体分配盒(3)的外侧固定设置有呈环形分布的连接板(4)，所述连接板(4)的内部开设有与所述定位销(10)相匹配的定位孔(5)。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的精准安装结构，其特征在于，所述机壳(1)、定位锥块(8)以及定位销(10)为一体成型结构。

3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的精准安装结构，其特征在于，所述气体分配盒(3)、连接板(4)以及安装部(7)为一体成型结构。

4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的精准安装结构，其特征在于，所述定位锥块(8)与定位锥槽(9)的大小形状相同。

5.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的精准安装结构，其特征在于，所述安装部(7)的外侧焊接有弹簧(12)，弹簧(12)的另一端通过卡扣固定连接有挤压板(11)，所述挤压板(11)呈弧形状，且挤压板(11)的另一侧与所述密封垫(6)贴紧接触。