[实用新型]一种靶材气相沉积镀膜夹具有效
| 申请号： | 202020877241.5 | 申请日： | 2020-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN212375371U | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;滕俊 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 靶材气相 沉积 镀膜 夹具 | ||
【权利要求书】：
1.一种靶材气相沉积镀膜夹具，其特征在于，所述夹具包括：托板、卡板及支盘；
所述托板设置于所述支盘的上表面；
所述托板的背面和支盘的夹角为60-75°；
所述卡板设置于所述托板正面的底端；
所述支盘连接有转动装置。
2.如权利要求1所述的靶材气相沉积镀膜夹具，其特征在于，所述卡板与所述托板正面的夹角为90-100°。
3.如权利要求1所述的靶材气相沉积镀膜夹具，其特征在于，所述托板在支盘上设置的个数至少1个。
4.如权利要求1所述的靶材气相沉积镀膜夹具，其特征在于，所述托板及卡板配套设置。
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