[实用新型]一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置

权利要求书

1.一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置，包括镀膜箱(1)和冷却箱(2)，所述镀膜箱(1)的内部具有用于扩散膜镀膜的镀膜机构(11)和用于扩散膜输送的滑台(12)，其特征在于，所述冷却箱(2)固定在所述镀膜箱(1)的右侧，所述滑台(12)滑动在所述镀膜箱(1)和所述冷却箱(2)的内壁，所述冷却箱(2)的内部固定连接有内箱(21)，所述内箱(21)的内部具有冷却腔(211)，所述内箱(21)通过所述冷却腔(211)与所述镀膜箱(1)相连通，且所述冷却箱(2)和所述内箱(21)之间具有流动腔(201)，所述冷却箱(2)的上下两端分别固定连接有交叉分布的进水管(22)和排水管(23)，所述进水管(22)、排水管(23)均贯穿所述冷却箱(2)与所述流动腔(201)相连通，所述流动腔(201)的内壁固定连接有输气管(24)，所述输气管(24)位于所述进水管(22)的一侧，且所述输气管(24)与所述冷却腔(211)相连通，位于所述冷却箱(2)的顶部位于所述输气管(24)上设有引风机(25)，所述引风机(25)的输出端固定连接有连接块(26)，且所述连接块(26)的另一端固定在所述输气管(24)的内部，所述引风机(25)与外部电源电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置，其特征在于，所述冷却腔(211)的内壁左侧开设有进料口(202)，所述冷却腔(211)通过所述进料口(202)与所述镀膜箱(1)相连通。

3.根据权利要求2所述的一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置，其特征在于，所述冷却腔(211)的右侧与所述进料口(202)对应的位置开设有出料口(203)。

4.根据权利要求1所述的一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置，其特征在于，所述连接块(26)上开设有螺纹槽(261)，所述连接块(26)通过所述螺纹槽(261)螺接固定在所述引风机(25)的输出端。

5.根据权利要求1所述的一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置，其特征在于，所述连接块(26)的底部固定连接有延伸管(262)，所述延伸管(262)固定在所述输气管(24)的内壁，且所述连接块(26)通过所述延伸管(262)与所述输气管(24)相连通。

6.根据权利要求5所述的一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置，其特征在于，所述延伸管(262)的外壁固定连接有螺纹圈(263)，所述延伸管(262)通过所述螺纹圈(263)螺接固定在所述输气管(24)的内壁。

7.根据权利要求1所述的一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置，其特征在于，所述内箱(21)的材质为导热板。