[实用新型]一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置

说明书

本实用新型属于真空镀膜技术领域，尤其为一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置，包括镀膜箱和冷却箱，所述镀膜箱的内部具有用于扩散膜镀膜的镀膜机构和用于扩散膜输送的滑台，所述冷却箱固定在所述镀膜箱的右侧，所述滑台滑动在所述镀膜箱和所述冷却箱的内壁，所述冷却箱的内部固定连接有内箱；冷却水在流动腔中循环降低了内箱和冷却箱中的热量，从而对镀膜箱的外部进行降温，再将冷却后的空气吹动进入镀膜箱中，增加了镀膜箱中的空气流动的速度，从而对镀膜箱的内部进行降温，可以通过风冷和水冷同时对镀膜箱进行降温，提高了镀膜箱的冷却速度，也避免了水珠依附在腔壁上对设备造成腐蚀的情况出现，实用性强。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体是一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置。

背景技术

扩散膜主要是指应用于LCD模组的背光光源部分，可修正光线成均匀面光源以达到光学扩散的效果，扩散膜在生产过程中，需要通过真空镀膜对膜进行加工，真空镀膜可减少蒸发材料的原子、分子在飞向基板过程中于分子的碰撞，减少成膜过程中气体分子进入薄膜中成为杂质的量，从而提高膜层的致密度、纯度、沉积速率和与基板的附着力，真空镀膜装置在工作时会产生大量的热量，需要及时的进行冷却，进而确保真空镀膜装置能够正常工作。

公开号为CN209456547U的中国专利公开了一种真空镀膜装置，该专利技术能够通过冷却水对腔壁上的热量进行冷却，增加了与热量的接触面积，能够迅速将内室中的热量消散，但是，热气传递到较冷的腔壁上容易产生水珠，水珠在自身重力的作用下会滴落在膜体上，降低了镀膜质量，而且，水珠长时间依附在腔壁上容易对腔内的设备进行腐蚀，减少了设备的使用寿命。因此，本领域技术人员提供了一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置，包括镀膜箱和冷却箱，所述镀膜箱的内部具有用于扩散膜镀膜的镀膜机构和用于扩散膜输送的滑台，所述冷却箱固定在所述镀膜箱的右侧，所述滑台滑动在所述镀膜箱和所述冷却箱的内壁，所述冷却箱的内部固定连接有内箱，所述内箱的内部具有冷却腔，所述内箱通过所述冷却腔与所述镀膜箱相连通，且所述冷却箱和所述内箱之间具有流动腔，所述冷却箱的上下两端分别固定连接有交叉分布的进水管和排水管，所述进水管、排水管均贯穿所述冷却箱与所述流动腔相连通，所述流动腔的内壁固定连接有输气管，所述输气管位于所述进水管的一侧，且所述输气管与所述冷却腔相连通，位于所述冷却箱的顶部的所述输气管上设有引风机，所述引风机的输出端固定连接有连接块，且所述连接块的另一端固定在所述输气管的内部，所述引风机与外部电源电性连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述冷却腔的内壁左侧开设有进料口，所述冷却腔通过所述进料口与所述镀膜箱相连通。

作为本实用新型再进一步的方案：所述冷却腔的右侧与所述进料口对应的位置开设有出料口。

作为本实用新型再进一步的方案：所述连接块上开设有螺纹槽，所述连接块通过所述螺纹槽螺接固定在所述引风机的输出端。

作为本实用新型再进一步的方案：所述连接块的底部固定连接有延伸管，所述延伸管固定在所述输气管的内壁，且所述连接块通过所述延伸管与所述输气管相连通。

作为本实用新型再进一步的方案：所述延伸管的外壁固定连接有螺纹圈，所述延伸管通过所述螺纹圈螺接固定在所述输气管的内壁。

作为本实用新型再进一步的方案：所述内箱的材质为导热板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：