[实用新型]一种带有真空吸附功能的手动植球工具有效
申请号: | 202020881837.2 | 申请日: | 2020-05-24 |
公开(公告)号: | CN212392222U | 公开(公告)日: | 2021-01-22 |
发明(设计)人: | 俞子强;严辉;黄国勇 | 申请(专利权)人: | 苏州凡恩机械科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/67 |
代理公司: | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人: | 张铁兰 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 带有 真空 吸附 功能 手动 工具 | ||
1.一种带有真空吸附功能的手动植球工具,其特征在于:包括真空底座(1)、吸附结构(2)、定位结构(3)和真空结构(4);
真空底座(1):其左右两端对称设置有搭扣(5);
吸附结构(2):设置于真空底座(1)的上表面中部;
定位结构(3):设置于真空底座(1)的上表面,且与吸附结构(2)对应设置;
真空结构(4):设置于真空底座(1)的下表面;
其中:还包括控制开关(6),所述控制开关(6)设置于真空底座(1)的左端外侧壁体上,控制开关(6)的输入端电连接外部电源。
2.根据权利要求1所述的一种带有真空吸附功能的手动植球工具,其特征在于:所述吸附结构(2)包括吸附基板橡胶(21)、基板(22)和基板定位针(23),所述吸附基板橡胶(21)设置于真空底座(1)的上表面中部,基板定位针(23)对称设置于真空底座(1)的上表面左右两侧,基板(22)通过基板定位针(23)与吸附基板橡胶(21)固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种带有真空吸附功能的手动植球工具,其特征在于:所述定位结构(3)包括定位针(31)、高度定位板(32)、植球钢网(33)和钢网压板(34),所述定位针(31)对称设置于真空底座(1)的上表面左右两侧,高度定位板(32)设置于基板(22)的上表面上,高度定位板(32)上端的定位孔与定位针(31)位置对应,植球钢网(33)设置于高度定位板(32)的上表面上,钢网压板(34)设置于植球钢网(33)上表面上,钢网压板(34)左右两侧对称的扣勾与搭扣(5)扣接。
4.根据权利要求3所述的一种带有真空吸附功能的手动植球工具,其特征在于:所述定位结构(3)还包括钢网位置调节块(35),所述钢网位置调节块(35)对称设置于钢网压板(34)的左右两侧安装槽内。
5.根据权利要求1所述的一种带有真空吸附功能的手动植球工具,其特征在于:所述真空结构(4)包括真空发生器(41)、一号异径管接头(42)、二号异径管接头(43)、一号气管接头(44)、压缩空气开关(45)、二号气管接头(46)和压缩空气管(47),所述真空发生器(41)、一号异径管接头(42)、二号异径管接头(43)、一号气管接头(44)、压缩空气开关(45)、二号气管接头(46)均设置于真空底座(1)的下端面上,一号气管接头(44)的上端口与真空底座(1)的下端口串联,一号异径管接头(42)的右端口通过气管与一号气管接头(44)的左侧端口相连,真空发生器(41)的右端口通过气管与一号异径管接头(42)的左端口相连,二号异径管接头(43)的左端口通过气管与真空发生器(41)的上端口相连,压缩空气开关(45)的左端口通过气管与二号异径管接头(43)的右端口相连,二号气管接头(46)的左端口通过气管与压缩空气开关(45)的右端头相连,压缩空气管(47)的下端头与二号气管接头(46)的上端头相连,真空发生器(41)的输入端电连接控制开关(6)的输出端。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造