[实用新型]一种钙钛矿太阳能电池生产用蚀刻装置有效
| 申请号： | 202020886103.3 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN212461609U | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 刘立帮 | 申请（专利权）人： | 武汉鑫誉金天科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L51/48 |
| 代理公司： | 武汉智慧恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42232 | 代理人： | 张熔舟 |
| 地址： | 430080 湖北省武汉市青山区友谊大道*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 钙钛矿 太阳能电池 生产 蚀刻 装置 | ||
1.一种钙钛矿太阳能电池生产用蚀刻装置，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)的内部设置有十字集水管(7)，且十字集水管(7)与外壳(1)固定连接，所述十字集水管(7)的下端安装有雾化喷头(8)，雾化喷头(8)安装有若干个，且雾化喷头(8)呈十字形分布，所述十字集水管(7)的上方安装有环形集水管(9)，且环形集水管(9)与外壳(1)固定连接，所述环形集水管(9)的下方安装有加压喷头(10)，加压喷头(10)安装有若干个，且加压喷头(10)呈环形分布，所述外壳(1)内部的两侧均安装有加热装置(5)，且加热装置(5)与外壳(1)通过螺栓固定。
2.根据权利要求1所述的一种钙钛矿太阳能电池生产用蚀刻装置，其特征在于：所述十字集水管(7)上端的中间位置处设置有蚀刻液管道(12)，且蚀刻液管道(12)的一端延伸至外壳(1)的外部，所述蚀刻液管道(12)的另一端与十字集水管(7)密封固定。
3.根据权利要求1所述的一种钙钛矿太阳能电池生产用蚀刻装置，其特征在于：所述外壳(1)的外部分别设置有水箱(15)和加压泵(16)，且加压泵(16)位于水箱(15)的上方，所述加压泵(16)的输出端密封固定有连接管(17)，所述连接管(17)的一端安装有输水管(13)，且输水管(13)安装有两个，所述输水管(13)的一端延伸至外壳(1)的内部与环形集水管(9)密封固定，且输水管(13)的另一端与连接管(17)通过三通密封固定。
4.根据权利要求1所述的一种钙钛矿太阳能电池生产用蚀刻装置，其特征在于：所述加热装置(5)的内部安装有加热金属丝(6)，且加热金属丝(6)安装有两个，所述加热金属丝(6)与加热装置(5)通过螺丝固定。
5.根据权利要求1所述的一种钙钛矿太阳能电池生产用蚀刻装置，其特征在于：所述外壳(1)上端的两侧均安装有风扇(11)，且风扇(11)连通于外壳(1)的内部，所述风扇(11)与外壳(1)通过螺栓固定。
6.根据权利要求1所述的一种钙钛矿太阳能电池生产用蚀刻装置，其特征在于：所述外壳(1)内部的下端固定设置有放置板(2)，所述放置板(2)上呈环形阵列开设有若干通孔(3)，所述放置板(2)的下方设置有废液槽(4)，所述废液槽(4)下端的一侧设置有排渣口(14)，且排渣口(14)与外壳(1)焊接固定。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
