[实用新型]一种MOCVD装置有效
| 申请号： | 202020891046.8 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN212357457U | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 张瑞龙;郭永超;许超浚 | 申请（专利权）人： | 厦门三安光电有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B28/14;C30B29/40 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361100 福建省厦门市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mocvd 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种MOCVD装置，包括反应腔，反应腔上有密封用的顶盖，顶盖包括相对的内侧表面和外侧表面，内侧表面朝向反应腔的腔体内部空间，其特征在于：MOCVD还包括一个保护罩，保护罩能罩住顶盖的内侧表面。
2.根据权利要求1所述的一种MOCVD装置，其特征在于：所述保护罩通过可拆卸的连接方式连接在MOCVD装置上。
3.根据权利要求2所述的一种MOCVD装置，其特征在于：所述保护罩通过可拆卸的连接方式连接在MOCVD顶盖的边缘。
4.根据权利要求2或3所述的一种MOCVD装置，其特征在于：所述保护罩的可拆卸的连接方式包括螺丝或者卡扣的方式。
5.根据权利要求1所述的一种MOCVD装置，其特征在于：所述保护罩的表面为非金属材料。
6.根据权利要求1所述的一种MOCVD装置，其特征在于：所述保护罩的表面为树脂材料。
7.根据权利要求6所述的一种MOCVD装置，其特征在于：所述保护罩的表面为亚克力材料，PC材料或者ABS树脂材料。
8.根据权利要求1所述的一种MOCVD装置，其特征在于：所述顶盖上包括气体管道。
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