[实用新型]用于半导体材料测试的四探针测试仪

权利要求书

1.一种用于半导体材料测试的四探针测试仪，其特征在于，包括：

检测仪

放置台，所述放置台固定安装在检测仪的顶部；

检测台，所述检测台转动安装在放置台的顶部；

升降器，所述升降器固定安装爱放置台上；

探测仪，所述探测仪固定安装在升降器上；

第一转动槽，所述第一转动槽开设在放置台的一侧；

内螺纹管，所述内螺纹管转动安装在第一转动槽内，所述内螺纹管的一端延伸至第一转动槽外；

调节轮，所述调节轮固定安装在内螺纹管的一端；

滑槽，所述滑槽开设在第一转动槽的一侧内壁上；

螺纹杆，所述螺纹杆螺纹安装在内螺纹管内，所述螺纹杆的一端延伸至滑槽内；

推杆，所述推杆滑动安装在滑槽内，所述推杆的一端与螺纹杆固定连接；

斜块，所述斜块固定安装爱推杆的一端；

滑孔，所述滑孔开设在滑槽的顶部内壁上；

卡块，所述卡块滑动安装在滑孔内；

转动轮，所述转动轮转动安装在卡块的底板，所述转动轮的底部与斜块相接触。

2.根据权利要求1所述的用于半导体材料测试的四探针测试仪，其特征在于，所述放置台的顶部开设有第二转动槽，所述第二转动槽内转动安装有转动轴，所述转动轴的顶部与检测台的底部固定连接。

3.根据权利要求1所述的用于半导体材料测试的四探针测试仪，其特征在于，所述检测台的底部嵌设有四个呈环形分布的滑珠，所述滑珠与放置台的顶部相接触。

4.根据权利要求1所述的用于半导体材料测试的四探针测试仪，其特征在于，所述滑槽的顶部内壁上开设有第一限位槽，所述第一限位槽内滑动安装有第一限位块，所述第一限位块的底部与推杆的顶部固定连接。

5.根据权利要求1所述的用于半导体材料测试的四探针测试仪，其特征在于，所述滑孔的两侧内壁上均开设有第二限位槽，两个第二限位槽内均滑动安装有第二限位块，两个第二限位块相互靠近的一侧均与卡块固定连接。

6.根据权利要求1所述的用于半导体材料测试的四探针测试仪，其特征在于，所述卡块的顶部固定安装有阻尼块，所述阻尼块的顶部与检测台的底部相接触，所述检测台的顶部标记放置区，所述放置区与转动180°后正好位于台侧以的底部。