[实用新型]用于半导体材料测试的四探针测试仪

说明书

本实用新型提供一种用于半导体材料测试的四探针测试仪。所述用于半导体材料测试的四探针测试仪包括：检测仪放置台，所述放置台固定安装在检测仪的顶部；检测台，所述检测台转动安装在放置台的顶部；升降器，所述升降器固定安装爱放置台上；探测仪，所述探测仪固定安装在升降器上；第一转动槽，所述第一转动槽开设在放置台的一侧；内螺纹管，所述内螺纹管转动安装在第一转动槽内，所述内螺纹管的一端延伸至第一转动槽外；调节轮，所述调节轮固定安装在内螺纹管的一端；滑槽，所述滑槽开设在第一转动槽的一侧内壁上。本实用新型提供的用于半导体材料测试的四探针测试仪具有使用方便、便于检测体移动至探针底部的优点。

技术领域

本实用新型涉及四探针探测仪技术领域，尤其涉及一种用于半导体材料测试的四探针测试仪。

背景技术

四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备，经检索，相关技术中公开用于半导体材料测试的四探针测试仪，包括底座，底座的底部设有支撑柱，底座上设有竖杆，竖杆上设有安装支座，安装支座上设有调节螺杆，安装支座的一侧设有滑动板，滑动板的一端设有限位块，安装支座内设有卡槽，滑动板的一端设有固定支座，固定支座的两侧均设有第一连接杆，第一连接杆的一端设有第二连接杆，固定支座上设有第一转轴，第一转轴上设有齿轮和转动钮，第一转轴的一侧设有第二转轴，第二转轴上设有弧形板，弧形板上设有齿条，弧形板的一端设有探头，探头上设有接线头，探头的下方设有单晶段，底座上设有显示器，显示器接口端连接有导线。

但是，上述技术中还存在不足之处，很多材料体型较小，想要准确的放置到探针底部较为困难，因此，有必要提供一种新的用于半导体材料测试的四探针测试仪解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种使用方便、便于检测体移动至探针底部的用于半导体材料测试的四探针测试仪。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的用于半导体材料测试的四探针测试仪包括：检测仪放置台，所述放置台固定安装在检测仪的顶部；检测台，所述检测台转动安装在放置台的顶部；升降器，所述升降器固定安装爱放置台上；探测仪，所述探测仪固定安装在升降器上；第一转动槽，所述第一转动槽开设在放置台的一侧；内螺纹管，所述内螺纹管转动安装在第一转动槽内，所述内螺纹管的一端延伸至第一转动槽外；调节轮，所述调节轮固定安装在内螺纹管的一端；滑槽，所述滑槽开设在第一转动槽的一侧内壁上；螺纹杆，所述螺纹杆螺纹安装在内螺纹管内，所述螺纹杆的一端延伸至滑槽内；推杆，所述推杆滑动安装在滑槽内，所述推杆的一端与螺纹杆固定连接；斜块，所述斜块固定安装爱推杆的一端；滑孔，所述滑孔开设在滑槽的顶部内壁上；卡块，所述卡块滑动安装在滑孔内；转动轮，所述转动轮转动安装在卡块的底板，所述转动轮的底部与斜块相接触。

优选的，所述放置台的顶部开设有第二转动槽，所述第二转动槽内转动安装有转动轴，所述转动轴的顶部与检测台的底部固定连接。

优选的，所述检测台的底部嵌设有四个呈环形分布的滑珠，所述滑珠与放置台的顶部相接触。

优选的，所述滑槽的顶部内壁上开设有第一限位槽，所述第一限位槽内滑动安装有第一限位块，所述第一限位块的底部与推杆的顶部固定连接。

优选的，所述滑孔的两侧内壁上均开设有第二限位槽，两个第二限位槽内均滑动安装有第二限位块，两个第二限位块相互靠近的一侧均与卡块固定连接。

优选的，所述卡块的顶部固定安装有阻尼块，所述阻尼块的顶部与检测台的底部相接触，所述检测台的顶部标记放置区，所述放置区与转动180°后正好位于台侧以的底部。

与相关技术相比较，本实用新型提供的用于半导体材料测试的四探针测试仪具有如下有益效果：

本实用新型提供一种用于半导体材料测试的四探针测试仪，通过内螺纹管、调节轮、滑槽、螺纹杆、推杆、斜块、滑孔、卡块和转动轮相配合，可以对检测台进行固定，使得检测台在调节好物质的位置时可以进行锁定。