[实用新型]一种钽电容真空烧结炉废气处理装置

权利要求书

1.一种钽电容真空烧结炉废气处理装置，包括废气处理箱(1)，其特征在于：所述废气处理箱(1)的顶部固定安装有入气管(2)，所述废气处理箱(1)的右侧固定安装有出气管(3)，所述入气管(2)的右侧固定安装有回流管(5)，所述出气管(3)的内部固定安装有废气监测箱(6)，所述回流管(5)的内部固定安装有单向阀(4)，所述出气管(3)与回流管(5)之间固定安装有固定座(7)，所述固定座(7)的右侧固定安装有阀体(8)，所述阀体(8)的右侧固定安装有排气管(9)，所述阀体(8)的内部活动安装有旋转阀芯(10)，所述旋转阀芯(10)的内部开设有通气槽(11)，所述阀体(8)的背面固定安装有机箱(13)，所述机箱(13)的内部开设有装配腔(12)，所述装配腔(12)的内部固定安装有密封轴承(14)，所述机箱(13)的内部固定安装有输出轴与旋转阀芯(10)固定连接的步进电机(15)，所述机箱(13)的背面通过螺栓(17)固定安装有密封盖(16)。

2.根据权利要求1所述的一种钽电容真空烧结炉废气处理装置，其特征在于：所述废气处理箱(1)的顶部与入气管(2)相连通，废气处理箱(1)的右侧与出气管(3)相连通。

3.根据权利要求1所述的一种钽电容真空烧结炉废气处理装置，其特征在于：所述回流管(5)和出气管(3)均与阀体(8)相连通，且回流管(5)、出气管(3)和排气管(9)呈等距离环形分布在阀体(8)的外侧。

4.根据权利要求1所述的一种钽电容真空烧结炉废气处理装置，其特征在于：所述阀体(8)的内部开设有阀腔，且旋转阀芯(10)位于阀腔的内部。

5.根据权利要求1所述的一种钽电容真空烧结炉废气处理装置，其特征在于：所述通气槽(11)呈半圆状，且通气槽(11)的宽度分别与回流管(5)的直径、出气管(3)的直径和排气管(9)的直径相同。

6.根据权利要求1所述的一种钽电容真空烧结炉废气处理装置，其特征在于：所述步进电机(15)的输出轴贯穿并延伸至密封轴承(14)的左侧，且步进电机(15)的输出轴与密封轴承(14)固定连接。