[实用新型]一种镜头调倍结构、照明镜头以及直写曝光机有效
申请号: | 202020894309.0 | 申请日: | 2020-05-25 |
公开(公告)号: | CN212341674U | 公开(公告)日: | 2021-01-12 |
发明(设计)人: | 蔡志国;龚田 | 申请(专利权)人: | 苏州微影激光技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215123 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 镜头 结构 照明 以及 曝光 | ||
1.一种镜头调倍结构,其特征在于,包括:
第一透镜(1)和第一镜筒(2),所述第一透镜(1)活动设置于所述第一镜筒(2)内且所述第一透镜(1)与所述第一镜筒(2)同轴设置;
第二透镜(3)和第三透镜(9),所述第二透镜(3)和所述第三透镜(9)沿所述第一镜筒(2)的轴向间隔且相对设置于所述第一镜筒(2)内,所述第二透镜(3)和所述第三透镜(9)均与所述第一透镜(1)同轴设置且与所述第一镜筒(2)固接,所述第一透镜(1)位于所述第二透镜(3)和所述第三透镜(9)之间;
调节组件,包括调节件(5)和设置于所述第一镜筒(2)上的滑槽(6),所述调节件(5)滑动穿设于所述滑槽(6)内且能够带动所述第一透镜(1)在所述第二透镜(3)和所述第三透镜(9)之间移动。
2.根据权利要求1所述的镜头调倍结构,其特征在于,所述镜头调倍结构还包括第二镜筒(4),所述第一透镜(1)同轴设置于所述第二镜筒(4)内且与所述第二镜筒(4)的内壁固接,所述第二镜筒(4)活动设置于所述第一镜筒(2)内且与所述调节件(5)连接。
3.根据权利要求2所述的镜头调倍结构,其特征在于,所述第二镜筒(4)的内周面设置有凸台(41),所述第一透镜(1)沿所述第二镜筒(4)的轴向与所述凸台(41)抵接。
4.根据权利要求2所述的镜头调倍结构,其特征在于,所述调节件(5)为螺栓,所述螺栓与所述第二镜筒(4)螺接,所述螺栓的螺帽能够抵紧于所述第一镜筒(2)的外壁。
5.根据权利要求1所述的镜头调倍结构,其特征在于,所述滑槽(6)的长度方向与所述第一镜筒(2)的轴向方向平行。
6.根据权利要求1所述的镜头调倍结构,其特征在于,所述滑槽(6)的长度方向与所述第一镜筒(2)的轴向方向呈夹角。
7.一种照明镜头,其特征在于,包括权利要求1-6任一项所述镜头调倍结构,所述照明镜头还包括光积分器(7),所述光积分器(7)设置于所述第二透镜(3)远离所述第一透镜(1)的一侧,所述第二透镜(3)、所述第一透镜(1)和所述第三透镜(9)依次位于所述光积分器(7)发射的光的光轴上。
8.根据权利要求7所述的照明镜头,其特征在于,所述第一镜筒(2)包括垂直连接的第一部分(21)和第二部分(22),且在所述第一部分(21)与所述第二部分(22)的连接处倾斜设置有反射镜(8),所述第一透镜(1)、所述第二透镜(3)和所述第三透镜(9)均设置于所述第一部分(21)内,所述光积分器(7)设置于所述第二部分(22)内,所述反射镜(8)能够将所述光积分器(7)发射的光反射并依次透过所述第二透镜(3)、所述第一透镜(1)和所述第三透镜(9)。
9.根据权利要求8所述的照明镜头,其特征在于,所述照明镜头还包括光调制器件,所述光调制器件设置于所述第三透镜(9)远离所述第一透镜(1)的一侧,所述光积分器(7)发射的光能够透过所述第二透镜(3)、所述第一透镜(1)和所述第三透镜(9)成像到所述光调制器件上。
10.一种直写曝光机,其特征在于,包括权利要求7-9任一项所述的照明镜头。
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