[实用新型]一种镜头调倍结构、照明镜头以及直写曝光机

说明书

本实用新型公开了一种镜头调倍结构、照明镜头以及直写曝光机,涉及直写式曝光技术领域。该镜头调倍结构包括第一透镜、第一镜筒、第二透镜、第三透镜和调节组件，其中第一透镜活动设置于第一镜筒内且第一透镜与第一镜筒同轴设置，第二透镜和第三透镜沿第一镜筒的轴向间隔且相对设置于第一镜筒内，第二透镜和第三透镜均与第一透镜同轴设置且与第一镜筒固接，第一透镜位于第二透镜和第三透镜之间；调节组件包括调节件和设置于第一镜筒上的滑槽，调节件滑动穿设于滑槽内且能够带动第一透镜在第二透镜和第三透镜之间移动。通过调节件在滑槽里移动带动第一透镜在第二透镜和第三透镜之间运动，以达到镜头调倍的目的，结构简单且调节方便。

技术领域

本实用新型涉及直写式曝光技术领域，尤其涉及一种镜头调倍结构、照明镜头以及直写曝光机。

背景技术

直写曝光机在芯片制造、印刷电路板、掩膜板、平板显示器、生物芯片、光学玻璃平板等衬底上印刷构图的场合，得到了广泛的应用。目前现有技术中的曝光系统所使用的照明镜头均为固定倍率的镜头，当其形成的光斑清晰照射到光调制器件上时，由于镜头装配误差的存在会导致尺寸不匹配，这时就需要通过调整各镜片的间距来保证光斑尺寸与调制器尺寸匹配。为解决上述技术问题，照明镜头的结构设计上需要至少两种或以上的调整结构，在实际的生产调试过程中极不方便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种镜头调倍结构，能够调整透镜之间的间距，实现调倍的目的，结构简单且调节方便。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种镜头调倍结构，其中包括：

第一透镜和第一镜筒，所述第一透镜活动设置于所述第一镜筒内且所述第一透镜与所述第一镜筒同轴设置；

第二透镜和第三透镜，所述第二透镜和所述第三透镜沿所述第一镜筒的轴向间隔且相对设置于所述第一镜筒内，所述第二透镜和所述第三透镜均与所述第一透镜同轴设置且与所述第一镜筒固接，所述第一透镜位于所述第二透镜和所述第三透镜之间；

调节组件，包括调节件和设置于所述第一镜筒上的滑槽，所述调节件滑动穿设于所述滑槽内且能够带动所述第一透镜在所述第二透镜和所述第三透镜之间移动。

可选地，所述镜头调倍结构还包括第二镜筒，所述第一透镜同轴设置于所述第二镜筒内且与所述第二镜筒的内壁固接，所述第二镜筒活动设置于所述第一镜筒内且与所述调节件连接。

可选地，所述第二镜筒的内周面设置有凸台，所述第一透镜沿所述第二镜筒的轴向与所述凸台抵接。

可选地，所述调节件为螺栓，所述螺栓与所述第二镜筒螺接，所述螺栓的螺帽能够抵紧于所述第一镜筒的外壁。

可选地，所述滑槽的长度方向与所述第一镜筒的轴向方向平行。

可选地，所述滑槽的长度方向与所述第一镜筒的轴向方向呈夹角。

本实用新型的另一个目的在于提出一种照明镜头，能够调整镜片的间距，结构简单且调节方便。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种照明镜头，其中包括上述镜头调倍结构，所述照明镜头还包括光积分器，所述光积分器设置于所述第二透镜远离所述第一透镜的一侧，所述第二透镜、所述第一透镜和所述第三透镜依次位于所述光积分器发射的光的光轴上。

可选地，所述第一镜筒包括垂直连接的第一部分和第二部分，且在所述第一部分与所述第二部分的连接处倾斜设置有反射镜，所述第一透镜，所述第二透镜和所述第三透镜均设置于所述第一部分内，所述光积分器设置于所述第二部分内，所述反射镜能够将所述光积分器发射的光反射并依次透过所述第二透镜、所述第一透镜和所述第三透镜。