[实用新型]晶圆打磨机构

说明书

本实用新型涉及晶圆加工领域，具体涉及了一种晶圆打磨机构，与加工主轴相邻设置，包括基座、打磨机、第一驱动装置和第二驱动装置，打磨机通过第一驱动装置和第二驱动装置连接于基座，第一驱动装置用于驱动打磨机沿加工主轴的轴向运动，第二驱动装置用于驱动打磨机沿加工主轴的径向运动，上述两种驱动装置使得打磨机能够沿加工主轴的轴向和径向运动，当打磨机在第一驱动装置的驱动下沿加工主轴的轴向运动时，打磨机可在晶圆的轴向上相对晶圆运动，以对晶圆的外圆周面进行打磨，打磨机和晶圆的接触面积是逐渐增大的，避免出现晶圆崩边、碎片现象。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工领域，特别是涉及一种晶圆打磨机构。

背景技术

在某些集成电路的制造过程中，需要对晶圆的边缘进行打磨修整。当晶圆的厚度较大时，现有的晶圆磨边机直接对晶圆的边缘进行磨边极易发生崩边、碎片现象，这是因为现有的晶圆磨边机的砂轮只能够沿晶圆的径向运动以靠近或远离晶圆，砂轮与晶圆的待加工圆周面的接触面积较大。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型的目的是提供一种晶圆打磨机构，以解决现有的晶圆磨边机对晶圆进行磨边时容易发生崩边、碎片现象。

基于此，本实用新型提供了一种晶圆打磨机构，所述晶圆打磨机构与加工主轴相邻设置，包括基座、打磨机、第一驱动装置和第二驱动装置，所述打磨机通过所述第一驱动装置和第二驱动装置连接于所述基座，所述第一驱动装置用于驱动所述打磨机沿所述加工主轴的轴向运动，所述第二驱动装置用于驱动所述打磨机沿所述加工主轴的径向运动。

作为优选的，还包括滑台，所述滑台连接于所述基座，所述第一驱动装置包括设于所述滑台的第一导轨以及活动地配合连接于所述第一导轨的滑块，所述第一导轨沿所述加工主轴的轴向布置，所述打磨机连接于所述滑块。

作为优选的，所述第二驱动装置包括设于所述基座的第二导轨，所述第二导轨沿所述加工主轴的径向布置，所述滑台活动地配合连接于所述第二导轨。

作为优选的，所述第一驱动装置还包括转动连接于所述滑台的第一螺杆以及活动地配合连接于所述第一螺杆的第一螺母，所述第一螺杆平行于所述第一导轨，所述第一螺母连接于所述滑块。

作为优选的，所述第二驱动装置还包括转动连接于所述基座的第二螺杆以及活动地配合连接于所述第二螺杆的第二螺母，所述第二螺杆平行于所述第二导轨，所述第二螺母连接于所述滑台。

作为优选的，所述滑台包括转动相连的固定件和活动件，所述固定件连接于所述基座，所述第一导轨设于所述活动件。

作为优选的，还包括锁销，所述固定件上开设有第一固定孔，所述活动件上开设有与所述第一固定孔同轴设置的第二固定孔，所述锁销穿设于所述第一固定孔和第二固定孔。

作为优选的，所述锁销上套接有弹性件，所述弹性件的两端分别连接于所述活动件和锁销。

作为优选的，所述打磨机包括电动机以及连接于所述电动机的转轴的砂轮。

作为优选的，所述打磨机还包括与所述电动机相连接的防尘罩，所述防尘罩环绕所述砂轮设置，且所述防尘罩上设有用于将所述砂轮的侧边暴露于外界的缺口。

本实用新型的晶圆打磨机构，与加工主轴相邻设置，包括基座、打磨机、第一驱动装置和第二驱动装置，打磨机通过第一驱动装置和第二驱动装置连接于基座，第一驱动装置用于驱动打磨机沿加工主轴的轴向运动，第二驱动装置用于驱动打磨机沿加工主轴的径向运动，上述两种驱动装置使得打磨机能够沿加工主轴的轴向和径向运动，当打磨机在第一驱动装置的驱动下沿加工主轴的轴向运动时，打磨机可在晶圆的轴向上相对晶圆运动，以对晶圆的外圆周面进行打磨，打磨机和晶圆的接触面积是逐渐增大的，避免出现晶圆崩边、碎片现象。

附图说明

图1是本实用新型实施例的晶圆打磨机构的立体结构示意图之一；