[实用新型]晶圆研磨机有效
| 申请号： | 202020911011.6 | 申请日： | 2020-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN212706145U | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 王国章 | 申请（专利权）人： | 宜宾昌鑫科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B55/06 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 李玉兴 |
| 地址： | 644000 四川省宜宾市临港经*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨机 | ||
1.晶圆研磨机，其特征在于：包括底座(1)；所述底座(1)的中心位置设置有支撑柱(3)；
所述底座(1)上设置有支撑架(2)；所述支撑柱(3)上转动安装有转动盘(5)；所述转动盘(5)上设置有沿圆周均匀分布的安装槽(51)；所述支撑柱(3)内设置有驱动转动盘(5)转动的驱动电机(16)；
所述安装槽(51)内设置有转轮(6)；所述转动盘(5)底面设置有驱动转轮(6)转动的驱动装置(7)；所述转轮(6)上设置有均匀分布的晶圆安装槽(61)；
所述转动盘(5)的正上方设置有固定盘(9)；所述固定盘(9)通过竖向伸缩装置(4)与支撑架(2)连接；
所述固定盘(9)上设置有与转动盘(5)上安装槽(51)相对应的安装孔；所述安装孔下端直径较小的阶梯安装孔内安装有磨盘(10)；所述磨盘(10)的下端延伸出安装孔的下端；
所述阶梯安装孔上端设置有封盖(11)；所述封盖(11)上设置有调节螺栓(12)；所述调节螺栓(12)的一端穿过封盖(11)，且与磨盘(10)的上端接触；所述调节螺栓(12)与封盖(11)螺纹配合；所述磨盘(10)具有凸缘，所述凸缘与阶梯安装孔的阶梯台之间设置有弹簧(13)；
所述固定盘(9)上设置有一个缺口(91)；所述缺口(91)与转动盘(5)上的一个安装槽(51)对应。
2.根据权利要求1所述的晶圆研磨机，其特征在于：所述转动盘(5)上端的外侧设置有围板(8)。
3.根据权利要求2所述的晶圆研磨机，其特征在于：所述竖向伸缩装置(4)采用液压缸。
4.根据权利要求3所述的晶圆研磨机，其特征在于：所述转动盘(5)底面设置有与支持柱(31)上端匹配的连接孔；
所述连接孔的底部与支持柱(31)上端之间设置有推力轴承(15)；所述支持柱(31)上端的外表面与连接孔内壁之间设置有滚子轴承(14)。
5.根据权利要求4所述的晶圆研磨机，其特征在于：所述驱动装置(7)采用电机。
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