[实用新型]一种板状靶材装夹机构

权利要求书

1.一种板状靶材装夹机构，其特征在于：包括用于承载板状靶材的载架、设置于载架的加热单元及磁铁、用于冷却载架所承载的板状靶材的冷却单元，载架设有与板状靶材配合使用的锥形孔，锥形孔靠近板状靶材一端的孔径小于锥形孔远离板状靶材一端的孔径，加热单元用于加热蒸发载架所承载的板状靶材，磁铁作用于板状靶材蒸发后经由锥形孔移出的靶材离子。

2.根据权利要求1所述的板状靶材装夹机构，其特征在于：所述载架设有容置孔及位于容置孔内的装夹件，板状靶材位于容置孔内并夹持在装夹件与容置孔的底面之间，锥形孔设置在装夹件上，锥形孔贯穿装夹件。

3.根据权利要求2所述的板状靶材装夹机构，其特征在于：所述载架设有基准面，容置孔自基准面凹设而成；装夹件与载架可拆卸连接，装夹件设有用于抵触压持在基准面上的定位部。

4.根据权利要求3所述的板状靶材装夹机构，其特征在于：所述定位部呈环形，载架设有自基准面凹设的多个螺纹孔，装夹件经由多个螺纹钉可拆卸设置在载架上，螺纹钉贯穿定位部螺接在螺纹孔内，多个螺纹钉分别螺接在多个螺纹孔内，多个螺纹孔环绕容置孔设置。

5.根据权利要求1所述的板状靶材装夹机构，其特征在于：所述载架设有冷却流道，冷却单元用于驱动外界的冷却流体流经冷却流道对载架所承载的板状靶材冷却降温。

6.根据权利要求5所述的板状靶材装夹机构，其特征在于：所述板状靶材与载架之间形成有与冷却流道连通的冷却容槽，冷却单元用于驱动外界的冷却流体流经冷却流道及冷却容槽对载架所承载的板状靶材冷却降温。

7.根据权利要求1所述的板状靶材装夹机构，其特征在于：所述磁铁、板状靶材沿载具的中心轴线方向排列设置，板状靶材位于磁铁与锥形孔之间。

8.根据权利要求1所述的板状靶材装夹机构，其特征在于：所述磁铁呈环形，磁铁环绕载架的中心轴线设置。

9.根据权利要求8所述的板状靶材装夹机构，其特征在于：所述载架设有承载部，承载部设有环形盲槽，磁铁套设在承载部上并位于环形盲槽内。

10.根据权利要求1所述的板状靶材装夹机构，其特征在于：所述载架远离锥形孔的一侧设有便于使用者用手抓持的提环。