[实用新型]一种板状靶材装夹机构

说明书

本实用新型涉及靶材装夹供料技术领域，尤其公开了一种板状靶材装夹机构，包括载架、设置于载架的加热单元及磁铁、用于冷却载架所承载的板状靶材的冷却单元，载架设有与板状靶材配合使用的锥形孔，锥形孔靠近板状靶材一端的孔径小于锥形孔远离板状靶材一端的孔径，加热单元用于加热蒸发载架所承载的板状靶材，磁铁作用于板状靶材蒸发后经由锥形孔移出的靶材离子；实际使用时，将板状靶材设置在载架上，加热单元将载具承载的板状靶材加热蒸发成靶材离子经由锥形孔移出供料，借助冷却单元冷却板状靶材，避免板状靶材温度过高而炸裂；板状靶材蒸发后的靶材离子在磁铁的磁场中受洛伦兹力完成自动筛选，提升靶材物料的供料良率。

技术领域

本实用新型涉及靶材装夹供料技术领域，尤其公开了一种板状靶材装夹机构。

背景技术

在工件的加工处理过程中，刀具是各种加工设备常用的基本配件之一，例如，电子产品均需要使用内置电路板，钻针就是用于在内置电路板上钻孔的常用刀具之一，为了延长钻针等刀具的使用寿命，常常需要在刀具的外侧涂设涂层。

现有技术中用于提供涂层材料的构造设计不合理，一方面因温度过高而产生炸裂安全隐患，另一方面容易因涂层材料混有较多杂质而导致刀具涂层不良。

实用新型内容

为了克服现有技术中存在的缺点和不足，本实用新型的目的在于提供一种板状靶材装夹机构，借助冷却单元冷却板状靶材，避免板状靶材温度过高而炸裂；板状靶材蒸发后的靶材离子在磁铁的磁场中受洛伦兹力完成自动筛选，提升靶材物料的供料良率。

为实现上述目的，本实用新型的一种板状靶材装夹机构，包括用于承载板状靶材的载架、设置于载架的加热单元及磁铁、用于冷却载架所承载的板状靶材的冷却单元，载架设有与板状靶材配合使用的锥形孔，锥形孔靠近板状靶材一端的孔径小于锥形孔远离板状靶材一端的孔径，加热单元用于加热蒸发载架所承载的板状靶材，磁铁作用于板状靶材蒸发后经由锥形孔移出的靶材离子。

进一步地，所述载架设有容置孔及位于容置孔内的装夹件，板状靶材位于容置孔内并夹持在装夹件与容置孔的底面之间，锥形孔设置在装夹件上，锥形孔贯穿装夹件。

进一步地，所述载架设有基准面，容置孔自基准面凹设而成；装夹件与载架可拆卸连接，装夹件设有用于抵触压持在基准面上的定位部。

进一步地，所述定位部呈环形，载架设有自基准面凹设的多个螺纹孔，装夹件经由多个螺纹钉可拆卸设置在载架上，螺纹钉贯穿定位部螺接在螺纹孔内，多个螺纹钉分别螺接在多个螺纹孔内，多个螺纹孔环绕容置孔设置。

进一步地，所述载架设有冷却流道，冷却单元用于驱动外界的冷却流体流经冷却流道对载架所承载的板状靶材冷却降温。

进一步地，所述板状靶材与载架之间形成有与冷却流道连通的冷却容槽，冷却单元用于驱动外界的冷却流体流经冷却流道及冷却容槽对载架所承载的板状靶材冷却降温。

进一步地，所述磁铁、板状靶材沿载具的中心轴线方向排列设置，板状靶材位于磁铁与锥形孔之间。

进一步地，所述磁铁呈环形，磁铁环绕载架的中心轴线设置。

进一步地，所述载架设有承载部，承载部设有环形盲槽，磁铁套设在承载部上并位于环形盲槽内。

进一步地，所述载架远离锥形孔的一侧设有便于使用者用手抓持的提环。

本实用新型的有益效果：实际使用时，将板状靶材设置在载架上，加热单元将载具承载的板状靶材加热蒸发成靶材离子经由锥形孔移出供料，借助冷却单元冷却板状靶材，避免板状靶材温度过高而炸裂；板状靶材蒸发后的靶材离子在磁铁的磁场中受洛伦兹力完成自动筛选，提升靶材物料的供料良率。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型的剖视图。