[实用新型]腔体组件和硅片加工设备

权利要求书

1.一种腔体组件，其特征在于，包括：

腔体，具有开口；

阀板，设于所述开口处，所述阀板的一端与所述腔体铰接；

驱动缸，一端与所述阀板铰接；

驱动缸底座，固定设置，所述驱动缸的另一端和所述驱动缸底座铰接，

其中，所述驱动缸通过伸缩驱动所述阀板转动。

2.根据权利要求1所述的腔体组件，其特征在于，还包括：

阀板底座；

多组第一安装孔，设于所述阀板上，所述阀板底座通过一组所述第一安装孔与所述阀板可装卸地连接；

所述驱动缸的一端与所述阀板底座铰接。

3.根据权利要求2所述的腔体组件，其特征在于，还包括：

第一转轴，与所述阀板底座固定连接；

杆端关节轴承，所述杆端关节轴承的一端与所述第一转轴转动连接；

所述驱动缸包括相互伸缩配合的缸体和缸杆，所述杆端关节轴承的另一端与所述缸杆栓接。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的腔体组件，其特征在于，还包括：

框架，所述腔体设于所述框架的顶部，所述驱动缸底座设于所述框架的侧部；

所述框架上设有多组第二安装孔，所述驱动缸底座通过一组所述第二安装孔可装卸地设于所述框架上。

5.根据权利要求4所述的腔体组件，其特征在于，还包括：

第二转轴，所述驱动缸和所述驱动缸底座通过所述第二转轴转动连接。

6.根据权利要求4所述的腔体组件，其特征在于，还包括：

位置传感器，设于所述腔体或所述框架上，所述位置传感器用于感应所述阀板的启闭状态和/或所述阀板的开度。

7.根据权利要求1-3中任一项所述的腔体组件，其特征在于，

所述驱动缸包括气缸、液压缸、电动缸中的任意一种。

8.根据权利要求1-3中任一项所述的腔体组件，其特征在于，还包括：

密封件，所述阀板和/或所述腔体的开口位置处设有所述密封件。

9.根据权利要求8所述的腔体组件，其特征在于，

所述腔体的开口端设有燕尾槽，所述密封件设于所述燕尾槽内。

10.一种硅片加工设备，其特征在于，包括：

工艺腔体，适于为硅片提供工艺处理空间；

权利要求1-9中任一项所述的腔体组件，所述腔体组件的腔体与所述工艺腔体相连，所述腔体适于为所述硅片提供装卸和/或加工空间，所述腔体的开口适于供所述硅片进出所述腔体。