[实用新型]腔体组件和硅片加工设备

说明书

本实用新型提出了一种腔体组件和硅片加工设备，其中，腔体组件包括：腔体，具有开口；阀板，设于开口处，阀板的一端与腔体铰接；驱动缸，一端与阀板铰接；驱动缸底座，固定设置，驱动缸的另一端和驱动缸底座铰接，其中，驱动缸通过伸缩驱动阀板转动。通过本实用新型的技术方案，有效地减少了阀板开关的部件，简化了结构，缩短了阀板开关的时间，还提升了对阀板的压紧力，有利于提升密封效果，降低驱动力。

技术领域

本实用新型涉及真空设备技术领域，具体而言，涉及一种腔体组件和一种硅片加工设备。

背景技术

在真空设备中，真空门阀多为主运动垂直升降，副运动水平运动的插板阀结构。该结构在开关门的时候，需要两步动作，耗费更多时间，增加了设备的时间节拍，降低了生产效率，且该结构为实现副运动的水平运动，需要专门制造额外的结构，增加了装置的复杂性。

另一些真空设备，阀板为翻板式结构，该结构带有一根主轴，阀板通过连接块与主轴相连接，驱动装置通常为气缸，通过铰链结构将气缸的直线运动，转化为主轴的圆周运动，这种结构中，需要主轴带动阀板，且采用连接块连接阀板，该配合不宜设置为完全刚性连接，影响密封效果，一些真空设备中设置为柔性可调结构，但是安装较为复杂，且在使用一段时间后，有移位的风险，影响密封效果。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

有鉴于此，本实用新型的一个目的在于提供一种腔体组件。

本实用新型的另一个目的在于提供一种硅片加工设备。

为了实现上述目的，本实用新型第一方面的技术方案提供了一种腔体组件，包括：腔体，具有开口；阀板，设于开口处，阀板的一端与腔体铰接；驱动缸，一端与阀板铰接；驱动缸底座，固定设置，驱动缸的另一端和驱动缸底座铰接，其中，驱动缸通过伸缩驱动阀板转动。

在该技术方案中，阀板设置在腔体的开口处并与腔体铰接，驱动缸推动阀板转动时，不再需要对位即可直接打开或关闭开口，即阀板只需要在原地转动即可实现开口的启闭，减少了动作的数量和动作行程，有利于大幅提升腔体的开门、关门时间，从而缩短非工艺时间，有利于提升生产效率，且阀板直接和腔体铰接，阀板的转动通过驱动缸直接驱动，中间部件少，结构简单，易于装配，且由于驱动缸的一端和阀板铰接，驱动缸伸长驱动阀板关闭开口时，具有一定的推力作用，还可以压紧阀板，提升密封效果；另外，阀板铰接在腔体上，即便长时间使用，也不会发生移位，有利于保持密封效果。

在上述技术方案中，腔体组件还包括：阀板底座；多组第一安装孔，设于阀板上，阀板底座通过一组第一安装孔与阀板可装卸地连接；驱动缸的一端与阀板底座铰接。

在上述技术方案中，腔体组件还包括：第一转轴，与阀板底座固定连接；杆端关节轴承，杆端关节轴承的一端与第一转轴转动连接；驱动缸包括相互伸缩配合的缸体和缸杆，杆端关节轴承的另一端与缸杆栓接。

在上述任一项技术方案中，腔体组件还包括：框架，腔体设于框架的顶部，驱动缸底座设于框架的侧部；框架上设有多组第二安装孔，驱动缸底座通过一组第二安装孔可装卸地设于框架上。

在上述技术方案中，腔体组件还包括：第二转轴，驱动缸和驱动缸底座通过第二转轴转动连接。

在上述技术方案中，腔体组件还包括：位置传感器，设于腔体或框架上，位置传感器用于感应阀板的启闭状态和/或阀板的开度。

在上述任一项技术方案中，驱动缸包括气缸、液压缸、电动缸中的任意一种。

在上述任一项技术方案中，腔体组件还包括：密封件，阀板和/或腔体的开口位置处设有密封件。

在上述技术方案中，腔体的开口端设有燕尾槽，密封件设于燕尾槽内。