[实用新型]适用于磁控溅射镀膜的弧形曲面阴极

权利要求书

1.一种适用于磁控溅射镀膜的弧形曲面阴极，应用于具有曲面的镀膜工件，其特征在于，包括：

阴极座，所述阴极座具有与所述镀膜工件匹配的弧度截面，所述阴极座中央弧向设有磁钢槽；

永磁钢，所述永磁钢安装于所述磁钢槽内，且所述永磁钢多段弧向排布于所述磁钢槽内；

铜隔板，所述铜隔板设置于所述阴极座且位于所述永磁钢上侧，且所述铜隔板与所述永磁钢之间设有水冷通道；以及

安装于所述铜隔板的靶材；

其中，所述阴极座与所述永磁钢为弧形，且具有相同曲率。

2.根据权利要求1所述的适用于磁控溅射镀膜的弧形曲面阴极，其特征在于，其中所述永磁钢的曲率与所述镀膜工件的曲率一致。

3.根据权利要求1所述的适用于磁控溅射镀膜的弧形曲面阴极，其特征在于，其中所述靶材设置为金属靶材，表面成一体式弧面，所述弧面与所述镀膜工件曲率相同。

4.根据权利要求1所述的适用于磁控溅射镀膜的弧形曲面阴极，其特征在于，其中所述靶材设置为陶瓷靶材，表面微分成多个平面，且所述平面相互连接组成弧面，所述弧面与所述镀膜工件曲率相同。

5.根据权利要求4所述的适用于磁控溅射镀膜的弧形曲面阴极，其特征在于，其中所述铜隔板具有对应的多个所述平面，且所述平面相互连接组成弧面，所述弧面与所述靶材弧面曲率相同。

6.根据权利要求1所述的适用于磁控溅射镀膜的弧形曲面阴极，其特征在于，其中所述水冷通道由所述铜隔板与所述永磁钢间隔预留成型，且与所述靶材不接触。

7.根据权利要求1所述的适用于磁控溅射镀膜的弧形曲面阴极，其特征在于，其中所述永磁钢均匀并紧密相邻分布于所述磁钢槽。

8.根据权利要求1所述的适用于磁控溅射镀膜的弧形曲面阴极，其特征在于，其中所述水冷通道放置水冷盒，并由螺栓固定。

9.根据权利要求1所述的适用于磁控溅射镀膜的弧形曲面阴极，其特征在于，其中所述靶材设置为金属靶材，表面成两段式弧面，所述弧面与所述镀膜工件曲率相同。

10.根据权利要求1所述的适用于磁控溅射镀膜的弧形曲面阴极，其特征在于，其中所述铜隔板设置为弧形，且罩设分布于所述阴极座表面。