[实用新型]一种具有电路板微调平台的光刻设备

权利要求书

1.一种具有电路板微调平台的光刻设备，所述光刻设备包括：传输机构（1）、投影机构（3）、投影支架（4）和机箱（5），所述传输机构（1）、所述投影机构（3）和所述投影支架（4）都位于所述机箱（5）的内部，所述投影机构（3）固定在所述投影支架（4）上，所述投影支架（4）位于所述机箱（5）的后端；其特征在于：所述传输机构（1）包括：传输板（11）和传输导轨（12），所述传输导轨（12）从所述机箱（5）的前端延伸至后端，所述传输板（11）沿前后方向可移动地设置在所述传输导轨（12）上；所述光刻设备还包括：微调平台（7），所述微调平台（7）位于所述机箱（5）的内部，并且所述微调平台（7）位于所述传输导轨（12）的后侧；所述微调平台（7）包括：承接盘（71）和升降器（72），所述承接盘（71）沿上下方向可移动地设置在所述升降器（72）上。

2.根据权利要求1所述的具有电路板微调平台的光刻设备，其特征在于：所述传输板（11）的上端具有吸附孔（111），所述传输板（11）的下端具有轨道槽（112），所述传输导轨（12）穿过所述轨道槽（112），所述承接盘（71）与所述轨道槽（112）正对。

3.根据权利要求1所述的具有电路板微调平台的光刻设备，其特征在于：所述升降器（72）包括：升降电机（721）、升降螺杆（722）、升降螺母（723）和升降支架（724），所述升降电机（721）与所述升降螺杆（722）形成转动连接，所述升降螺杆（722）与所述升降螺母（723）啮合，所述承接盘（71）固定在所述升降螺母（723）的上端，所述升降螺母（723）的侧面具有升降轨道（725），所述升降支架（724）的侧面具有升降滑块（726），所述升降轨道（725）沿上下方向可移动地设置在所述升降滑块（726）上。

4.根据权利要求1所述的具有电路板微调平台的光刻设备，其特征在于：所述微调平台（7）还包括：旋转器（73），所述旋转器（73）与所述承接盘（71）形成转动连接。

5.根据权利要求4所述的具有电路板微调平台的光刻设备，其特征在于：所述旋转器（73）包括：旋转电机（731）和连接轴（732），所述旋转电机（731）与所述连接轴（732）形成转动连接，所述连接轴（732）与所述承接盘（71）形成转动连接。