[实用新型]一种具有电路板微调平台的光刻设备

说明书

一种具有电路板微调平台的光刻设备，包括：传输机构（1）、投影机构（3）、投影支架（4）和机箱（5），投影机构（3）固定在投影支架（4）上，投影支架（4）位于机箱（5）的后端；传输机构（1）包括：传输板（11）和传输导轨（12），传输导轨（12）从机箱（5）的前端延伸至后端，传输板（11）设置在传输导轨（12）上；光刻设备还包括：微调平台（7），微调平台（7）位于传输导轨（12）的后侧；微调平台（7）包括：承接盘（71）和升降器（72），承接盘（71）设置在升降器（72）上。由于采用了微调平台，因此可以对电路板的高度以及角度进行微调，避免热胀冷缩对投影距离和投影角度的影响，保持投影图案位置及比例的一致性。

技术领域

本实用新型涉及光刻设备，尤其是涉及一种具有电路板微调平台的光刻设备。

背景技术

光刻设备是一种能够发出可利用的强紫外线光线的表面处理的机械设备。为了克服传统光固化机在生产电路板时工艺复杂的问题，中国发明申请公布号CN109375479A公开了一种投影式的光刻设备，通过投射特定线路图案的冷光源，使电路板线路上的UV涂层固化，固化过程中不需要使用菲林遮挡，大大提高效率。

中国实用新型公告号CN210199508U公开了一种采用CCD定位的光刻设备，该CCD定位机构可以在光固化工艺之前确定电路板与传输板之间的相对位置以及电路板的尺寸，从而在光固化工艺的过程中保证线路图案投影到正确的位置。

然而，不同的电路板的厚度会存在误差，而且受到了热胀冷缩（即热胀系数不同）的影响，造成了不同电路板与投射光源之间的距离不同，投影的线路图案的比例也随之变化，从而导致了不同电路板上的线路尺寸不同。

实用新型内容

本实用新型技术方案是针对上述情况的，为了解决上述问题而提供一种具有电路板微调平台的光刻设备，所述光刻设备包括：传输机构、投影机构、投影支架和机箱，所述传输机构、所述投影机构和所述投影支架都位于所述机箱的内部，所述投影机构固定在所述投影支架上，所述投影支架位于所述机箱的后端；所述传输机构包括：传输板和传输导轨，所述传输导轨从所述机箱的前端延伸至后端，所述传输板沿前后方向可移动地设置在所述传输导轨上；所述光刻设备还包括：微调平台，所述微调平台位于所述机箱的内部，并且所述微调平台位于所述传输导轨的后侧；所述微调平台包括：承接盘和升降器，所述承接盘沿上下方向可移动地设置在所述升降器上。

进一步，所述传输板的上端具有吸附孔，所述传输板的下端具有轨道槽，所述传输导轨穿过所述轨道槽，所述承接盘与所述轨道槽正对。

进一步，所述升降器包括：升降电机、升降螺杆、升降螺母和升降支架，所述升降电机与所述升降螺杆形成转动连接，所述升降螺杆与所述升降螺母啮合，所述承接盘固定在所述升降螺母的上端，所述升降螺母的侧面具有升降轨道，所述升降支架的侧面具有升降滑块，所述升降轨道沿上下方向可移动地设置在所述升降滑块上。

进一步，所述微调平台还包括：旋转器，所述旋转器与所述承接盘形成转动连接。

进一步，所述旋转器包括：旋转电机和连接轴，所述旋转电机与所述连接轴形成转动连接，所述连接轴与所述承接盘形成转动连接。

采用上述技术方案后，本实用新型的效果是：由于光刻设备中采用了微调平台，因此可以对电路板的高度以及角度进行微调，避免热胀冷缩对投影距离和投影角度的影响，保持投影图案位置及比例的一致性。

附图说明

图1为本实用新型涉及的光刻设备的示意图；

图2为本实用新型涉及的光刻设备的内部视图；

图3为本实用新型涉及的定位机构的示意图；

图4为本实用新型涉及的投影机构的示意图;

图5为本实用新型涉及的投影支架的内部视图；