[实用新型]一种CVD用新型两端支撑推舟机构

权利要求书

1.一种CVD用新型两端支撑推舟机构，其特征在于：包括推舟杆座组件(1)、推舟杆组件(2)以及反应管组件(3)，所述推舟杆座组件(1)包括推舟杆固定座(11)以及组合支撑杆安装套筒(12)，所述推舟杆组件(2)的一端通过所述组合支撑杆安装套筒(12)固定安装在所述推舟杆座组件(1)上，所述推舟杆组件(2)包括前端滚轮组件(21)以及推舟杆(22)，所述反应管组件(3)内部设置有推舟杆导轨(31)，所述推舟杆组件(2)的另一端通过前端滚轮组件(21)在所述推舟杆导轨(31)上滑行。

2.根据权利要求1所述的CVD用新型两端支撑推舟机构，其特征在于：所述推舟杆座组件(1)还包括炉门固定套筒(13)、推舟炉门(14)以及万向调节机构(15)，所述万向调节机构(15)固定安装在所述推舟杆固定座(11)上，所述推舟炉门(14)通过炉门固定套筒(13)与所述万向调节机构(15)连接，所述组合支撑杆安装套筒(12)与所述推舟炉门(14)连接。

3.根据权利要求1所述的CVD用新型两端支撑推舟机构，其特征在于：所述推舟杆组件(2)还包括第一石墨舟垫套(23)以及第二石墨舟垫套(24)，所述第一石墨舟垫套(23)以及第二石墨舟垫套(24)套设在所述推舟杆(22)上。

4.根据权利要求1所述的CVD用新型两端支撑推舟机构，其特征在于：所述前端滚轮组件(21)包括连接块(211)、两侧固定板(212)以及带槽滚轮(213)，所述两侧固定板(212)通过连接块(211)连接到所述推舟杆(22)上，所述带槽滚轮(213)固定安装在所述两侧固定板(212)上。

5.根据权利要求1所述的CVD用新型两端支撑推舟机构，其特征在于：所述反应管组件(3)还包括前支撑座(32)、反应管(33)、后支撑座(34)以及导轨支撑座(35)，所述反应管(33)安装在所述前支撑座(32)与后支撑座(34)之间，所述推舟杆导轨(31)通过导轨支撑座(35)固定安装在所述反应管(33)内部的底部。

6.根据权利要求5所述的CVD用新型两端支撑推舟机构，其特征在于：所述反应管(33)为圆筒状管式结构。

7.根据权利要求1所述的CVD用新型两端支撑推舟机构，其特征在于：所述推舟杆组件(2)包括两根推舟杆(22)。