[实用新型]一种CVD用新型两端支撑推舟机构有效
申请号: | 202020945518.3 | 申请日: | 2020-05-28 |
公开(公告)号: | CN212610888U | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 王俊朝;寇宗和;常红旺 | 申请(专利权)人: | 深圳丰盛装备股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44 |
代理公司: | 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 | 代理人: | 万永泉 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 cvd 新型 两端 支撑 机构 | ||
本实用新型公开一种CVD用新型两端支撑推舟机构,包括推舟杆座组件、推舟杆组件以及反应管组件,所述推舟杆座组件包括推舟杆固定座以及组合支撑杆安装套筒,所述推舟杆组件的一端通过所述组合支撑杆安装套筒固定安装在所述推舟杆座组件上,所述推舟杆组件包括前端滚轮组件以及推舟杆,所述反应管组件内部设置有推舟杆导轨,所述推舟杆组件的另一端通过前端滚轮组件在所述推舟杆导轨上滑行。该种CVD用新型两端支撑推舟机构采用两端支撑结构,可以提升推舟机构的承载能力、大幅度提高推舟运行速度、大幅度延长使用寿命,可以有效减少设备的维护成本、缩短无效工艺时间、提高单机生产效率。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池设备技术领域,尤其是一种CVD用新型两端支撑推舟机构。
背景技术
管式CVD设备,是太阳能光伏行业使用最普遍的技术设备,推舟机构是该设备中的重要部件,传统的推舟机构都是悬臂式的,悬臂式推舟机构承载能力差、运行速度慢、推舟杆弯曲变形大、使用寿命短。随着光伏设备技术的发展,光伏行业对降低成本、提高效率的要求越来越高,单管装片量越来越大,因此,提高推舟机构的承载能力和推舟运行速度是降本提效的有效方法。
因此,本实用新型提供一种新的技术方案以解决现存的技术问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是公开一种CVD用新型两端支撑推舟机构。
本实用新型的技术方案是:一种CVD用新型两端支撑推舟机构,包括推舟杆座组件、推舟杆组件以及反应管组件,所述推舟杆座组件包括推舟杆固定座以及组合支撑杆安装套筒,所述推舟杆组件的一端通过所述组合支撑杆安装套筒固定安装在所述推舟杆座组件上,所述推舟杆组件包括前端滚轮组件以及推舟杆,所述反应管组件内部设置有推舟杆导轨,所述推舟杆组件的另一端通过前端滚轮组件在所述推舟杆导轨上滑行。
作为本技术方案的进一步技术优化,本实用新型一种CVD用新型两端支撑推舟机构所述推舟杆座组件还包括炉门固定套筒、推舟炉门以及万向调节机构,所述万向调节机构固定安装在所述推舟杆固定座上,所述推舟炉门通过炉门固定套筒与所述万向调节机构连接,所述组合支撑杆安装套筒与所述推舟炉门连接。
作为本技术方案的进一步技术优化,本实用新型一种CVD用新型两端支撑推舟机构所述推舟杆组件还包括第一石墨舟垫套以及第二石墨舟垫套,所述第一石墨舟垫套以及第二石墨舟垫套套设在所述推舟杆上。
作为本技术方案的进一步技术优化,本实用新型一种CVD用新型两端支撑推舟机构所述前端滚轮组件包括连接块、两侧固定板以及带槽滚轮,所述两侧固定板通过连接块连接到所述推舟杆上,所述带槽滚轮固定安装在所述两侧固定板上。
作为本技术方案的进一步技术优化,本实用新型一种CVD用新型两端支撑推舟机构所述反应管组件还包括前支撑座、反应管、后支撑座以及导轨支撑座,所述反应管安装在所述前支撑座与后支撑座之间,所述推舟杆导轨通过导轨支撑座固定安装在所述反应管内部的底部。
作为本技术方案的进一步技术优化,本实用新型一种CVD用新型两端支撑推舟机构所述反应管为圆筒状管式结构。
作为本技术方案的进一步技术优化,本实用新型一种CVD用新型两端支撑推舟机构所述推舟杆组件包括两根推舟杆。
本实用新型的有益效果:本实用新型提供一种CVD用新型两端支撑推舟机构。本实用新型一种CVD用新型两端支撑推舟机构采用两端支撑结构,可以提升推舟机构的承载能力、大幅度提高推舟运行速度、大幅度延长使用寿命,可以有效减少设备的维护成本、缩短无效工艺时间、提高单机生产效率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明:
图1是本实用新型实施例中一种CVD用新型两端支撑推舟机构的结构示意图;
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳丰盛装备股份有限公司,未经深圳丰盛装备股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202020945518.3/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种新型无纺布静电驻极装置
- 下一篇:一种印刷包装盒的除味装置
- 同类专利
- 专利分类
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的