[实用新型]一种电子束冷床炉自动抽真空装置

权利要求书

1.一种电子束冷床炉自动抽真空装置，其特征在于包括真空度检测装置Ⅰ(2)、电磁阀Ⅰ(3)、增压泵(4)、电磁阀Ⅱ(6)、真空度检测装置Ⅱ(7)、罗茨泵Ⅰ(8)、电磁阀Ⅲ(9)、真空度检测装置Ⅲ(10)、机械泵Ⅰ(11)、电磁阀Ⅳ(14)、真空度检测装置Ⅳ(15)、罗茨泵Ⅱ(16)、电磁阀Ⅴ(17)、真空度检测装置Ⅴ(18)、机械泵Ⅱ(19)、排空装置(20)、控制系统(21)，所述电磁阀Ⅰ(3)与电子束冷床炉的加料仓(1)抽真空口连通且并联有真空度检测装置Ⅰ(2)，所述电磁阀Ⅰ(3)的另一端与增压泵(4)连通，所述增压泵(4)的另一端分别与电磁阀Ⅱ(6)、电磁阀Ⅳ(14)连通，所述电磁阀Ⅱ(6)、罗茨泵Ⅰ(8)、电磁阀Ⅲ(9)、机械泵Ⅰ(11)依次连通，所述电磁阀Ⅱ(6)与罗茨泵Ⅰ(8)间并联有真空度检测装置Ⅱ(7)，所述电磁阀Ⅲ(9)与机械泵Ⅰ(11)间并联有真空度检测装置Ⅲ(10)；所述电磁阀Ⅳ(14)、罗茨泵Ⅱ(16)、电磁阀Ⅴ(17)、机械泵Ⅱ(19)依次连通，所述电磁阀Ⅳ(14)与罗茨泵Ⅱ(16)间并联有真空度检测装置Ⅳ(15)，所述电磁阀Ⅴ(17)与机械泵Ⅱ(19)间并联有真空度检测装置Ⅴ(18)；所述机械泵Ⅰ(11)及机械泵Ⅱ(19)的出口端与排空装置(20)连通，所述真空度检测装置Ⅰ(2)、真空度检测装置Ⅱ(7)、真空度检测装置Ⅲ(10)、真空度检测装置Ⅳ(15)、真空度检测装置Ⅴ(18)的输出端分别与控制系统(21)的输入端电性连接，所述电磁阀Ⅰ(3)、增压泵(4)、电磁阀Ⅱ(6)、罗茨泵Ⅰ(8)、电磁阀Ⅲ(9)、机械泵Ⅰ(11)、电磁阀Ⅳ(14)、罗茨泵Ⅱ(16)、电磁阀Ⅴ(17)及机械泵Ⅱ(19)的控制端分别与控制系统(21)的输出端电性连接。

2.根据权利要求1所述电子束冷床炉自动抽真空装置，其特征在于所述电子束冷床炉的加料仓(1)设置有至少两个抽真空口，所述加料仓(1)的每一个抽真空口依次连通电磁阀Ⅰ(3)、增压泵(4)，所述加料仓(1)的各抽真空口连接的增压泵(4)出口端相互连通后分别与电磁阀Ⅱ(6)、电磁阀Ⅳ(14)连通。

3.根据权利要求2所述电子束冷床炉自动抽真空装置，其特征在于所述增压泵(4)与电磁阀Ⅱ(6)、电磁阀Ⅳ(14)之间设置有接油器(5)，所述接油器(5)的入口端与增压泵(4)连通且出口端分别与电磁阀Ⅱ(6)、电磁阀Ⅳ(14)连通。

4.根据权利要求3所述电子束冷床炉自动抽真空装置，其特征在于所述接油器(5)的出口端还与开关阀Ⅰ(12)和/或开关阀Ⅱ(13)的入口端连通，所述开关阀Ⅰ(12)的出口端与电磁阀Ⅲ(9)的入口端连通，所述开关阀Ⅱ(13)的出口端与电磁阀Ⅴ(17)的入口端连通。

5.根据权利要求1至4任意一项所述电子束冷床炉自动抽真空装置，其特征在于还包括与控制系统(21)控制端电性连接的变频器(22)、接触器(23)，所述罗茨泵Ⅰ(8)及机械泵Ⅰ(11)分别连接有变频电机(24)，所述罗茨泵Ⅱ(16)及机械泵Ⅱ(19)分别连接有异步电机(25)，所述变频电机(24)的电源端与变频器(22)的驱动输出端电性连接，所述异步电机(25)的电源控制端与接触器(23)电性连接。

6.根据权利要求5所述电子束冷床炉自动抽真空装置，其特征在于所述电磁阀Ⅰ(3)、电磁阀Ⅱ(6)、电磁阀Ⅲ(9)、电磁阀Ⅳ(14)及电磁阀Ⅴ(17)的电源控制端分别与接触器(23)电性连接且各电磁阀的阀位信号输出端分别与控制系统(21)的输入端电性连接。

7.根据权利要求5所述电子束冷床炉自动抽真空装置，其特征在于所述增压泵(4)、罗茨泵Ⅰ(8)、机械泵Ⅰ(11)、罗茨泵Ⅱ(16)及机械泵Ⅱ(19)分别设置有泵信号反馈单元并与控制系统(21)的输入端电性连接。